[实用新型]一种双管扩散炉

权利要求书

1.一种双管扩散炉，其特征在于，包括机架、设置于机架上的上下两层炉体、用于承载待扩散元件至炉体内的石英舟、用于推送石英舟移动的送料机构、对应上下两层炉体一端设置的用于向炉体内输送扩散气体的气源柜，上下两层炉体另一端分别连接有排毒箱，上层炉体上方罩设排风罩，其中，上下两层炉体内分别设置连接气源柜的出气管，每个炉体内出气管设置为2根，两根出气管位于炉体中石英舟的左右两侧，两出气管上分别设置若干出气孔，其中一出气管上的出气孔对应石英舟方向斜向上设置，另一出气管上的出气孔对应石英舟方向斜向下设置，所述排毒箱由相嵌套的内外两套筒组成，内套筒上设置用于石英舟通过的通道孔，内外套筒之间的夹层与对应炉体连通使炉体内扩散气体进入夹层，内套筒中设置有排风板，排风板上设置有对应石英舟的排风孔，排风板内设置通道分别连通排风孔和相应夹层。

2.根据权利要求1所述的双管扩散炉，其特征在于，上层炉体和下层炉体分别包括石英管和套设于石英管外的加热器，所述加热器通电加热实现对石英管加热。

3.根据权利要求1所述的双管扩散炉，其特征在于，所述送料机构包括用于承载石英舟的承载杆、用于推动承载杆上石英舟移动的推板、以及用于推动推板移动的送料气缸。

4.根据权利要求1所述的双管扩散炉，其特征在于，其中一出气管上的出气孔对应石英舟方向斜向上45度设置，另一出气管上的出气孔对应石英舟方向斜向下45度设置。

5.根据权利要求4所述的双管扩散炉，其特征在于，所述出气管内设置有均风板，所述均风板沿出气管轴线方向倾斜设置，使出气管内分隔成进气区和均风区，出气孔均位于均风区的出气管壁上。

6.根据权利要求5所述的双管扩散炉，其特征在于，所述均风板上设置有若干均风孔，均风板上均风孔的分布密度沿均风板倾斜方向逐渐增大。

7.根据权利要求1所述的双管扩散炉，其特征在于，所述排风板为环绕石英舟的弧形板，排风孔分布于弧形板的内弧面上。

8.根据权利要求1所述的双管扩散炉，其特征在于，所述排毒箱设置出风通道，其中，上层炉体对应的排毒箱的出风通道的出口设置于排风罩中，下层炉体对应的排毒箱的出风通道与上层炉体对应的排毒箱的夹层连通。