[实用新型]用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置

摘要

为了满足聚焦镜垂直装调系统中对光源的需求，保证较高的装调精度，本实用新型提供一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置。装置包括激光器、激光器调节架、光学平台、转台、第一位移调节架、第二位移调节架、中心五棱镜组、装调五棱镜组和参考五棱镜组；光学平台置于激光器上方；转台位于光学平台上方；第一位移调节架、第二位移调节架均固定在转台上，中心五棱镜组包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架，第一五棱镜调节架固定设置在转台上；装调五棱镜组包括装调五棱镜和第二五棱镜调节架，第二五棱镜调节架设置在第一位移调节架上；参考五棱镜组包括参考五棱镜和第三五棱镜调节架，第三五棱镜调节架设置在第二位移调节架上。

主权项

1.一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置，其特征在于：包括激光器(1)、激光器调节架(2)、光学平台(3)、转台(4)、第一位移调节架(5)、第二位移调节架(10)、中心五棱镜组(6)、装调五棱镜组(7)和参考五棱镜组(8)；所述激光器(1)固定于激光器调节架(2)上，其出射光垂直向上；所述光学平台(3)置于激光器(1)上方，且光学平台(3)上设有中间开孔；所述转台(4)位于光学平台(3)上方，且设置有通光孔；所述第一位移调节架(5)、第二位移调节架(10)均固定设置在转台(4)上；所述中心五棱镜组(6)包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架(65)，所述中心五棱镜设置在第一五棱镜调节架(65)上，所述第一五棱镜调节架(65)固定设置在转台(4)上；所述装调五棱镜组(7)包括装调五棱镜(71)和第二五棱镜调节架(72)，所述装调五棱镜(71)设置在第二五棱镜调节架(72)上，所述第二五棱镜调节架(72)设置在第一位移调节架(5)上；所述参考五棱镜组(8)包括参考五棱镜(81)和第三五棱镜调节架(82)，所述参考五棱镜(81)设置在第三五棱镜调节架(82)上，所述第三五棱镜调节架(82)设置在第二位移调节架(10)上；所述激光器(1)的出射光穿过中间开孔和通光孔，入射至中心五棱镜后分为两束水平光，其中一束水平光入射至装调五棱镜(71)转换为垂直光，另一束水平光入射至参考五棱镜(81)转换为垂直光。