[实用新型]用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置

说明书

为了满足聚焦镜垂直装调系统中对光源的需求，保证较高的装调精度，本实用新型提供一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置。装置包括激光器、激光器调节架、光学平台、转台、第一位移调节架、第二位移调节架、中心五棱镜组、装调五棱镜组和参考五棱镜组；光学平台置于激光器上方；转台位于光学平台上方；第一位移调节架、第二位移调节架均固定在转台上，中心五棱镜组包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架，第一五棱镜调节架固定设置在转台上；装调五棱镜组包括装调五棱镜和第二五棱镜调节架，第二五棱镜调节架设置在第一位移调节架上；参考五棱镜组包括参考五棱镜和第三五棱镜调节架，第三五棱镜调节架设置在第二位移调节架上。

技术领域

本实用新型涉及X射线光学领域，具体涉及一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置。

背景技术

X射线聚焦镜是一种基于X射线掠入射原理，采用多层嵌套式结构对X射线光子进行聚焦并探测的一种光学器件，其超薄、超光滑镜片的精密装调一直是X射线聚焦镜制造领域的瓶颈。X射线垂直装调系统因能有效减少这种超薄、超光滑镜片在装调过程中变形，减少聚焦镜角分辨率与有效面积损失而受到重视。

近年，从X射线聚焦镜总体发展趋势来看，大口径、多层数已经成为X射线聚焦镜下一阶段的主要发展方向，随之而来的难题是光源问题，在垂直装调系统中，口径的聚焦镜则需要的平行光源，但因平行光管只能水平放置，所以需要用大口径的平面反射镜将水平平行光转换成垂直平行光。但是，因制造成本高、制造周期长等特点，大口径平行光管与大口径平面反射镜已成为聚焦镜垂直装调系统最大的限制因素之一。

实用新型内容

为了满足聚焦镜垂直装调系统中对光源的需求，并保证较高的装调精度，本实用新型提出了一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置。

本实用新型的技术方案是：

一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置，包括激光器、激光器调节架、光学平台、转台、第一位移调节架、第二位移调节架、中心五棱镜组、装调五棱镜组和参考五棱镜组；所述激光器固定于激光器调节架上，其出射光垂直向上；所述光学平台置于激光器上方，且光学平台上设有中间开孔；所述转台位于光学平台上方，且设置有通光孔；所述第一位移调节架、第二位移调节架均固定设置在转台上，所述中心五棱镜组包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架，所述中心五棱镜设置在第一五棱镜调节架上，所述第一五棱镜调节架固定设置在转台上；所述装调五棱镜组包括装调五棱镜和第二五棱镜调节架，所述装调五棱镜设置在第二五棱镜调节架上，所述第二五棱镜调节架设置在第一位移调节架上；所述参考五棱镜组包括参考五棱镜和第三五棱镜调节架，所述参考五棱镜设置在第三五棱镜调节架上，所述第三五棱镜调节架设置在第二位移调节架上；所述激光器的出射光穿过中间开孔和通光孔，入射至中心五棱镜后分为两束水平光，其中一束水平光入射至装调五棱镜转换为垂直光，另一束水平光入射至参考五棱镜转换为垂直光。

进一步地，所述中心五棱镜包括由上至下依次设置的第一补偿镜、第一五棱镜、第二补偿镜、第二五棱镜，所述第一五棱镜和第二五棱镜的入射面平行设置，所述第一补偿镜、第一五棱镜的胶合面上镀有第一分光膜，所述第二补偿镜、第二五棱镜胶合面上镀有第二分光膜。

进一步地，所述第一分光膜和第二分光膜的材料具体为银Ag。

进一步地，所述光学平台中间开孔和激光器位置关系为同心，通光孔与激光器位置关系也为同心。

进一步地，所述激光器调节架固定于标准面包板上。

进一步地，第一位移调节架、第二位移调节架关于中心五棱镜组对称设置。

本实用新型与现有技术相比，具有以下技术效果：