[实用新型]用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置

权利要求书

1.一种用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置，其特征在于：包括激光器(1)、激光器调节架(2)、光学平台(3)、转台(4)、第一位移调节架(5)、第二位移调节架(10)、中心五棱镜组(6)、装调五棱镜组(7)和参考五棱镜组(8)；

所述激光器(1)固定于激光器调节架(2)上，其出射光垂直向上；

所述光学平台(3)置于激光器(1)上方，且光学平台(3)上设有中间开孔；

所述转台(4)位于光学平台(3)上方，且设置有通光孔；

所述第一位移调节架(5)、第二位移调节架(10)均固定设置在转台(4)上；

所述中心五棱镜组(6)包括中心五棱镜和第一五棱镜调节架(65)，所述中心五棱镜设置在第一五棱镜调节架(65)上，所述第一五棱镜调节架(65)固定设置在转台(4)上；

所述装调五棱镜组(7)包括装调五棱镜(71)和第二五棱镜调节架(72)，所述装调五棱镜(71)设置在第二五棱镜调节架(72)上，所述第二五棱镜调节架(72)设置在第一位移调节架(5)上；

所述参考五棱镜组(8)包括参考五棱镜(81)和第三五棱镜调节架(82)，所述参考五棱镜(81)设置在第三五棱镜调节架(82)上，所述第三五棱镜调节架(82)设置在第二位移调节架(10)上；

所述激光器(1)的出射光穿过中间开孔和通光孔，入射至中心五棱镜后分为两束水平光，其中一束水平光入射至装调五棱镜(71)转换为垂直光，另一束水平光入射至参考五棱镜(81)转换为垂直光。

2.根据权利要求1所述的用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置，其特征在于：所述中心五棱镜包括由上至下依次设置的第一补偿镜(63)、第一五棱镜(64)、第二补偿镜(61)、第二五棱镜(62)，所述第一五棱镜(64)和第二五棱镜(62)的入射面平行设置，所述第一补偿镜(63)、第一五棱镜(64)的胶合面上镀有第一分光膜(42)，所述第二补偿镜(61)、第二五棱镜(62)胶合面上镀有第二分光膜(41)。

3.根据权利要求2所述的用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置，其特征在于：所述第一分光膜(42)和第二分光膜(41)的材料具体为银。

4.根据权利要求1或2或3所述的用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置，其特征在于：所述光学平台(3)中间开孔和激光器(1)位置关系为同心，通光孔与激光器(1)位置关系也为同心。

5.根据权利要求4所述的用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置，其特征在于：所述激光器调节架(2)固定于标准面包板(11)上。

6.根据权利要求5所述的用于X射线聚焦镜垂直装调系统的光源装置，其特征在于：第一位移调节架(5)、第二位移调节架(10)关于中心五棱镜组(6)对称设置。