[实用新型]一种具有防渗漏结构的PVC热水槽、湿法槽式清洗设备有效
| 申请号： | 201920120482.2 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN209199889U | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 王雪松;许峯嘉;鄧信甫 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 杜冰云 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有防渗漏结构的PVC热水槽，及包括该PVC热水槽的湿法槽式清洗设备。所述PVC热水槽包括热水槽本体以及设置在所述热水槽本体内的内衬槽，所述内衬槽的各侧壁与热水槽本体的相应内壁之间均形成有一个变形间隙，所述内衬槽的底部设置有排液管，排液管的端部从热水槽本体的底部伸出。本实用新型结构简单、使用方便，通过在热水槽的槽体内设置一个PTFE内衬槽，有效地解决了现有热水槽在冷热交替的环境下，槽体容易萌生裂纹、产生破裂，从而产生漏液的问题，提高了热水槽的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 热水槽 内衬槽 本实用新型 防渗漏结构 槽式清洗 排液管 湿法 体内 变形间隙 使用寿命 交替的 有效地 槽体 侧壁 冷热 漏液 内壁 破裂 伸出 | ||
【主权项】：
1.一种具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，包括：热水槽本体（1）；以及设置在所述热水槽本体（1）内的内衬槽（2）；其中，所述内衬槽（2）的顶部开口，且其各侧壁与热水槽本体（1）的相应内壁之间均形成有一个用以吸收内衬槽（2）膨胀变形的变形间隙（3），所述内衬槽（2）的底部设置有排液管（4），所述排液管（4）的端部从所述热水槽本体（1）的底部伸出。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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