[实用新型]一种具有防渗漏结构的PVC热水槽、湿法槽式清洗设备有效
| 申请号： | 201920120482.2 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN209199889U | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 王雪松;许峯嘉;鄧信甫 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 杜冰云 |
| 地址： | 200241 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 热水槽 内衬槽 本实用新型 防渗漏结构 槽式清洗 排液管 湿法 体内 变形间隙 使用寿命 交替的 有效地 槽体 侧壁 冷热 漏液 内壁 破裂 伸出 | ||
1.一种具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，包括：
热水槽本体（1）；
以及设置在所述热水槽本体（1）内的内衬槽（2）；
其中，所述内衬槽（2）的顶部开口，且其各侧壁与热水槽本体（1）的相应内壁之间均形成有一个用以吸收内衬槽（2）膨胀变形的变形间隙（3），所述内衬槽（2）的底部设置有排液管（4），所述排液管（4）的端部从所述热水槽本体（1）的底部伸出。
2.根据权利要求1所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述内衬槽（2）和热水槽本体（1）的上端还设置有用以防止液体进入变形间隙的导流板（5）。
3.根据权利要求2所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述导流板（5）为上端面呈倾斜面的U形板。
4.根据权利要求3所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述导流板（5）的上端面向槽底方向倾斜。
5.根据权利要求2所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述内衬槽（2）的上边缘与热水槽本体（1）的上边缘相齐平。
6.根据权利要求1所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述内衬槽（2）的边角设有倒角部（6）。
7.根据权利要求1所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述内衬槽（2）的材质为PTFE材料。
8.根据权利要求7所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述内衬槽（2）的壁厚为4mm-6mm。
9.根据权利要求1所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述排液管（4）焊接固定在内衬槽（2）上。
10.一种湿法槽式清洗设备，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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