[实用新型]一种硅微粉退火装置有效
| 申请号： | 201920107180.1 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN209815704U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 汪继超 | 申请（专利权）人： | 贵州超亚纳米基材有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/18 | 分类号： | C01B33/18 |
| 代理公司： | 11427 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 551206 贵州省黔*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅微粉退火装置，装置本体呈箱体状，装置本体的上表面开设有开口，开口旁安装有散热装置，装置本体内部固定有加热台，加热台上表面向上延伸出加热器，加热器内设置有加热灯泡，且加热灯泡沿加热器的长度方向依次排布，加热台上方设置有沿铅锤方向进行往复运动且穿过开口的升降块，升降块向下延伸有支撑板，支撑板顶部安放有储物盒，支撑板底部粘接有晶圆衬底，晶圆衬底上形成有至少两个有源区结构，且相连两个有源区结构间设置有沟槽，沟槽内填充有二氧化硅，本实用新型在实现硅微粉高效退火的同时，可随时监测加热器内加热灯泡的使用情况。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 加热灯泡 装置本体 本实用新型 开口 硅微粉 支撑板 衬底 晶圆 源区 加热 升降 退火 支撑板顶部 二氧化硅 内部固定 铅锤方向 散热装置 退火装置 向上延伸 向下延伸 储物盒 加热台 上表面 箱体状 排布 粘接 填充 穿过 监测 | ||
【主权项】：
1.一种硅微粉退火装置,其特征在于：包括装置本体(1)、加热台(2)、升降块和散热装置，所述装置本体(1)呈箱体状，所述装置本体(1)的上表面开设有开口(11)，所述开口(11)旁安装有散热装置，所述装置本体(1)内部固定有加热台(2)，所述加热台(2)的上表面向上延伸出加热器(21)，所述加热器(21)内设置有加热灯泡(211)，且加热灯泡(211)沿加热器(21)的长度方向依次排布，所述加热台(2)的上方设置有沿铅锤方向进行往复运动且穿过开口(11)的升降块，所述升降块向下延伸有支撑板(31)，所述支撑板(31)的顶部安放有储物盒(32)，所述支撑板(31)的底部粘接有晶圆衬底(33)，所述晶圆衬底(33)上形成有至少两个有源区结构(331)，且相连两个有源区结构(331)间设置有沟槽(332)，所述沟槽(332)内填充有二氧化硅。/n
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