[实用新型]一种硅微粉退火装置

说明书

本实用新型公开了一种硅微粉退火装置，装置本体呈箱体状，装置本体的上表面开设有开口，开口旁安装有散热装置，装置本体内部固定有加热台，加热台上表面向上延伸出加热器，加热器内设置有加热灯泡，且加热灯泡沿加热器的长度方向依次排布，加热台上方设置有沿铅锤方向进行往复运动且穿过开口的升降块，升降块向下延伸有支撑板，支撑板顶部安放有储物盒，支撑板底部粘接有晶圆衬底，晶圆衬底上形成有至少两个有源区结构，且相连两个有源区结构间设置有沟槽，沟槽内填充有二氧化硅，本实用新型在实现硅微粉高效退火的同时，可随时监测加热器内加热灯泡的使用情况。

技术领域

本实用新型涉及硅微粉加工领域，具体是一种硅微粉退火装置。

背景技术

硅微粉是一种无毒、无味、无污染的无机非金属材料。由于它具备耐温性好、耐酸碱腐蚀、导热系数高、高绝缘、低膨胀、化学性能稳定、硬度大等优良的性能，被广泛用于化工、电子、集成电路(IC)、电器、塑料、涂料、高级油漆、橡胶、国防等领域。退火加工是硅微粉加工的一个重要环节，现有的硅微粉进行退火加工时，往往通过加热灯泡随硅微粉进行加热，然而加热灯泡在经过一段的时间之后，其加热的效果会逐渐衰减或有的由于质量问题可能会提前失效，最终造成器件电学性能的失效，并且现有的退火装置并未针对这一点而对加热灯泡进行实时监控，而是规定一定的使用寿命进行更换，进而使得进行退火的硅微粉无法进行精确的退火。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅微粉退火装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种硅微粉退火装置，包括装置本体、加热台、升降块和散热装置，所述装置本体呈箱体状，所述装置本体的上表面开设有开口，所述开口旁安装有散热装置，所述装置本体内部固定有加热台，所述加热台的上表面向上延伸出加热器，所述加热器内设置有加热灯泡，且加热灯泡沿加热器的长度方向依次排布，所述加热台的上方设置有沿铅锤方向进行往复运动且穿过开口的升降块，所述升降块向下延伸有支撑板，所述支撑板的顶部安放有储物盒，所述支撑板的底部粘接有晶圆衬底，所述晶圆衬底上形成有至少两个有源区结构，且相连两个有源区结构间设置有沟槽，所述沟槽内填充有二氧化硅。

作为本实用新型进一步的方案：所述升降块包括固定板、L型固定板、转轴、第一斜齿轮、手摇轮、丝杠、第二斜齿轮和移动平台，所述装置本体的上表面向上延伸出固定板，所述固定板的左右两侧分别焊接有两个L型固定板，所述L型固定板上设置有第一板面和第二板面，所述第一板面上设置有第一插口，所述第二板面上设置有第二插口，所述转轴依次穿过第一斜齿轮和第一插口，所述转轴的一端设置有手摇轮，所述丝杠依次穿过第二斜齿轮和第二插口，所述丝杠的底端设置有沿丝杠的长度方向进行往复运动的移动平台，且两个移动平台之间卡装有升降块，所述第一斜齿轮与所述第二斜齿轮呈垂直啮合状。

作为本实用新型进一步的方案：所述散热装置包括相对设置的两个散热扇和减速电机，所述散热扇的输入端与减速电机的输出端电连接在一起。

作为本实用新型进一步的方案：所述开口处分别安装有沿水平方向进行往复运动的两个手拉门，两个手拉门的闭合处皆设置有两个圆孔，且圆孔与丝杠之间为间隙配合。

作为本实用新型进一步的方案：所述手拉门上设置有凹槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种高效且对加热灯泡实时监控的一种硅微粉退火装置，通过与灯泡对应有源区结构的硅发生气化产生损伤的缺陷，从而确认老化或损坏灯泡的位置，并且本实用新型中的升降运动通过呈垂直啮合状的第一斜齿轮与第二斜齿轮来实现，从而大大增加了传动的平稳性和精准性，而相对设立的风扇可以使得经过加热处理后的硅微粉快速降温，最终实现硅微粉的高效退火。

附图说明

图1为一种硅微粉退火装置的主视剖视结构示意图。