[实用新型]一种硅微粉退火装置

权利要求书

1.一种硅微粉退火装置,其特征在于：包括装置本体(1)、加热台(2)、升降块和散热装置，所述装置本体(1)呈箱体状，所述装置本体(1)的上表面开设有开口(11)，所述开口(11)旁安装有散热装置，所述装置本体(1)内部固定有加热台(2)，所述加热台(2)的上表面向上延伸出加热器(21)，所述加热器(21)内设置有加热灯泡(211)，且加热灯泡(211)沿加热器(21)的长度方向依次排布，所述加热台(2)的上方设置有沿铅锤方向进行往复运动且穿过开口(11)的升降块，所述升降块向下延伸有支撑板(31)，所述支撑板(31)的顶部安放有储物盒(32)，所述支撑板(31)的底部粘接有晶圆衬底(33)，所述晶圆衬底(33)上形成有至少两个有源区结构(331)，且相连两个有源区结构(331)间设置有沟槽(332)，所述沟槽(332)内填充有二氧化硅。

2.根据权利要求1所述的一种硅微粉退火装置，其特征在于：所述升降块包括固定板(34)、L型固定板(35)、转轴(36)、第一斜齿轮(361)、手摇轮(362)、丝杠(37)、第二斜齿轮(371)和移动平台(38)，所述装置本体(1)的上表面向上延伸出固定板(34)，所述固定板(34)的左右两侧分别焊接有两个L型固定板(35)，所述L型固定板(35)上设置有第一板面(351)和第二板面(352)，所述第一板面(351)上设置有第一插口(353)，所述第二板面(352)上设置有第二插口(354)，所述转轴(36)依次穿过第一斜齿轮(361)和第一插口(353)，所述转轴(36)的一端设置有手摇轮(362)，所述丝杠(37)依次穿过第二斜齿轮(371)和第二插口(354)，所述丝杠(37)的底端设置有沿丝杠(37)的长度方向进行往复运动的移动平台(38)，且两个移动平台(38)之间卡装有升降块，所述第一斜齿轮(361)与所述第二斜齿轮(371)呈垂直啮合状。

3.根据权利要求1所述的一种硅微粉退火装置，其特征在于：所述散热装置包括相对设置的两个散热扇(41)和减速电机(42)，所述散热扇(41)的输入端与减速电机(42)的输出端电连接在一起。

4.根据权利要求1所述的一种硅微粉退火装置，其特征在于：所述开口(11)处分别安装有沿水平方向进行往复运动的两个手拉门(12)，两个手拉门(12)的闭合处皆设置有两个圆孔(121)，且圆孔(121)与丝杠(37)之间为间隙配合。

5.根据权利要求4所述的一种硅微粉退火装置，其特征在于：所述手拉门(12)上设置有凹槽(122)。