[实用新型]一种真空镀膜机蒸发盖板系统

摘要

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体地说，涉及一种真空镀膜机蒸发盖板系统。包括蒸发盖板，所述蒸发盖板的一端设有驱动机构，另一端设有同步导向装置；所述驱动机构包括导向装置和动力装置；所述导向装置包括与蒸发盖板固定连接的直线轴承和与直线轴承相匹配的导向滑轨；所述动力装置包括与直线轴承固定连接的同步带和驱动同步带运动的减速电机；所述同步导向装置包括导向滑槽和设置在蒸发盖板端部的滑轴。本实用新型利用减速电机和同步带代替无杆气缸驱动直线轴承运动，不需通入压缩空气，避免了因气管损坏而造成的异常停机；此外，本实用新型受温度和粉尘影响较小，避免了设备因受粉尘和温度异常影响造成的蒸发盖板打开关闭故障。

主权项

1.一种真空镀膜机蒸发盖板系统，包括蒸发盖板(5)，所述蒸发盖板(5)的一端设置有驱动机构，另一端设置有同步导向装置；其特征在于：所述驱动机构包括导向装置和动力装置，所述的导向装置和动力装置分别装配在蒸发盖板(5)一端的固定架(6)上；所述导向装置包括与蒸发盖板(5)固定连接的直线轴承(2)和与直线轴承(2)相匹配的导向滑轨(1)，所述导向滑轨(1)的两端分别固定装配在固定架(6)上；所述动力装置包括与直线轴承(2)固定连接的同步带(4)和固定装配在固定架(6)上驱动同步带(4)运动的减速电机(3)，所述同步带(4)的主动轴和从动轴分别采用转动连接的方式装配在固定架(6)上，且主动轴贯穿固定架(6)与减速电机(3)的动力输出端传动连接；所述同步导向装置包括与导向滑轨(1)平行设置的导向滑槽(7)和固定设置在蒸发盖板(5)端部的滑轴(8)，所述的滑轴(8)插设在导向滑槽(7)内并沿导向滑槽(7)做往复运动。