[实用新型]一种真空镀膜机蒸发盖板系统

说明书

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体地说，涉及一种真空镀膜机蒸发盖板系统。包括蒸发盖板，所述蒸发盖板的一端设有驱动机构，另一端设有同步导向装置；所述驱动机构包括导向装置和动力装置；所述导向装置包括与蒸发盖板固定连接的直线轴承和与直线轴承相匹配的导向滑轨；所述动力装置包括与直线轴承固定连接的同步带和驱动同步带运动的减速电机；所述同步导向装置包括导向滑槽和设置在蒸发盖板端部的滑轴。本实用新型利用减速电机和同步带代替无杆气缸驱动直线轴承运动，不需通入压缩空气，避免了因气管损坏而造成的异常停机；此外，本实用新型受温度和粉尘影响较小，避免了设备因受粉尘和温度异常影响造成的蒸发盖板打开关闭故障。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体地说，涉及一种真空镀膜机蒸发盖板系统。

背景技术

目前，真空镀膜机的蒸发盖板在真空环境下驱动多采用直线轴承作为滑轨，无杆气缸作为动力驱动。虽然无杆气缸不会真空漏气，但是有粉尘和温度异常时会失效损坏，而且，用气管将压缩空气通入真空环境，在温度过高或压力异常时气管会破裂，造成蒸发盖板打不开或关不上，造成异常停机，给客户造成损失。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种真空镀膜机蒸发盖板系统，解决以上技术问题。

为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种真空镀膜机蒸发盖板系统，包括蒸发盖板，所述蒸发盖板的一端设置有驱动机构，另一端设置有同步导向装置；所述驱动机构包括导向装置和动力装置，所述的导向装置和动力装置分别装配在蒸发盖板一端的固定架上；所述导向装置包括与蒸发盖板固定连接的直线轴承和与直线轴承相匹配的导向滑轨，所述导向滑轨的两端分别固定装配在固定架上；所述动力装置包括与直线轴承固定连接的同步带和固定装配在固定架上驱动同步带运动的减速电机，所述同步带的主动轴和从动轴分别采用转动连接的方式装配在固定架上，且主动轴贯穿固定架与减速电机的动力输出端传动连接；所述同步导向装置包括与导向滑轨平行设置的导向滑槽和固定设置在蒸发盖板端部的滑轴，所述的滑轴插设在导向滑槽内并沿导向滑槽做往复运动。

进一步说：所述固定架的两端分别设有固定支臂，所述导向滑轨的两端分别固定装配在两固定支臂上；所述两固定支臂的内侧分别设置有直线轴承限位柱，且两直线轴承限位柱的轴心线分别与导向滑轨的轴心线相互平行。

有益效果：与现有技术相比，本实用新型利用减速电机和同步带代替无杆气缸驱动直线轴承运动，不需通入压缩空气，避免了因气管损坏而造成的异常停机；此外，本实用新型受温度和粉尘影响较小，避免了设备因受粉尘和温度异常影响造成的蒸发盖板打开关闭故障。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例的结构示意图；

图2为本实用新型中所述的驱动机构的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。

实施例

参照图1-图2，本实施例所述的真空镀膜机蒸发盖板系统，包括蒸发盖板5，所述蒸发盖板5的一端设置有驱动机构，另一端设置有同步导向装置。所述驱动机构包括导向装置和动力装置，所述的导向装置和动力装置分别装配在蒸发盖板5一端的固定架6上。

所述导向装置包括与蒸发盖板5固定连接的直线轴承2和与直线轴承2相匹配的导向滑轨1，所述导向滑轨1的两端分别固定装配在固定架6上。所述固定架6的两端分别设有固定支臂9，所述导向滑轨1的两端分别固定装配在两固定支臂9上。所述两固定支臂9的内侧分别设置有直线轴承限位柱10，且两直线轴承限位柱10的轴心线分别与导向滑轨1的轴心线相互平行。