[实用新型]一种真空镀膜机蒸发盖板系统

权利要求书

1.一种真空镀膜机蒸发盖板系统，包括蒸发盖板(5)，所述蒸发盖板(5)的一端设置有驱动机构，另一端设置有同步导向装置；其特征在于：所述驱动机构包括导向装置和动力装置，所述的导向装置和动力装置分别装配在蒸发盖板(5)一端的固定架(6)上；所述导向装置包括与蒸发盖板(5)固定连接的直线轴承(2)和与直线轴承(2)相匹配的导向滑轨(1)，所述导向滑轨(1)的两端分别固定装配在固定架(6)上；所述动力装置包括与直线轴承(2)固定连接的同步带(4)和固定装配在固定架(6)上驱动同步带(4)运动的减速电机(3)，所述同步带(4)的主动轴和从动轴分别采用转动连接的方式装配在固定架(6)上，且主动轴贯穿固定架(6)与减速电机(3)的动力输出端传动连接；所述同步导向装置包括与导向滑轨(1)平行设置的导向滑槽(7)和固定设置在蒸发盖板(5)端部的滑轴(8)，所述的滑轴(8)插设在导向滑槽(7)内并沿导向滑槽(7)做往复运动。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机蒸发盖板系统，其特征在于：所述固定架(6)的两端分别设有固定支臂(9)，所述导向滑轨(1)的两端分别固定装配在两固定支臂(9)上；所述两固定支臂(9)的内侧分别设置有直线轴承限位柱(10)，且两直线轴承限位柱(10)的轴心线分别与导向滑轨(1)的轴心线相互平行。