[实用新型]一种板材的真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201920067033.6 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN209957890U | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 蒋建华;向毅 | 申请（专利权）人： | 昆山金百辰金属科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 32329 苏州衡创知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 仲昌民 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种板材的真空镀膜装置，其技术方案要点是：包括真空箱体，所述真空箱体内设置有真空腔室，所述真空腔室的底部设置有用于高频感应电流加热的蒸发坩埚，所述真空箱体的顶部固定有伺服电机，所述伺服电机驱动第一固定杆在所述真空腔室内转动，所述第一固定杆的外部螺纹连接有螺纹环套，所述螺纹环套上铰接有若干个支撑杆，所述支撑杆的端部固定有L形板，所述L形板上滑移连接有用于将待镀基材夹紧的夹板，所述第一固定杆上还铰接有第一气缸的缸体，所述第一气缸的活塞杆端部铰接在所述支撑杆上，利用装置可以方便的调节真空腔室内基材的角度和位置，且装置固定基材方便可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 固定杆 支撑杆 铰接 真空腔室 真空箱体 螺纹环 真空腔 基材 气缸 室内 高频感应电流 技术方案要点 伺服电机驱动 真空镀膜装置 本实用新型 活塞杆端部 夹板 利用装置 螺纹连接 伺服电机 蒸发坩埚 装置固定 真空箱 镀基 缸体 夹紧 上滑 加热 转动 体内 外部 | ||
【主权项】：
1.一种板材的真空镀膜装置，包括真空箱体(1)，所述真空箱体(1)内设置有真空腔室(2)，所述真空腔室(2)的底部设置有用于高频感应电流加热的蒸发坩埚(3)，其特征在于：所述真空箱体(1)的顶部固定有伺服电机(4)，所述伺服电机(4)驱动第一固定杆(6)在所述真空腔室(2)内转动，所述第一固定杆(6)的外部螺纹连接有螺纹环套(7)，所述螺纹环套(7)上铰接有若干个支撑杆(8)，所述支撑杆(8)的端部固定有L形板(9)，所述L形板(9)上滑移连接有用于将待镀基材夹紧的夹板(10)，所述L形板(9)上固定有固定板(11)，所述固定板(11)与所述夹板(10)之间连接有弹簧(12)，所述弹簧(12)的一端固定在所述固定板(11)上，所述弹簧(12)的另一端固定在所述夹板(10)上，所述第一固定杆(6)上还铰接有第一气缸(13)的缸体，所述第一气缸(13)的活塞杆端部铰接在所述支撑杆(8)上。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山金百辰金属科技有限公司，未经昆山金百辰金属科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920067033.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种真空镀膜机基材旋转夹具
- 下一篇：一种带辅助加热功能的磁材真空镀膜机
- 同类专利
- 专利分类
