[实用新型]一种板材的真空镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种板材的真空镀膜装置，其技术方案要点是：包括真空箱体，所述真空箱体内设置有真空腔室，所述真空腔室的底部设置有用于高频感应电流加热的蒸发坩埚，所述真空箱体的顶部固定有伺服电机，所述伺服电机驱动第一固定杆在所述真空腔室内转动，所述第一固定杆的外部螺纹连接有螺纹环套，所述螺纹环套上铰接有若干个支撑杆，所述支撑杆的端部固定有L形板，所述L形板上滑移连接有用于将待镀基材夹紧的夹板，所述第一固定杆上还铰接有第一气缸的缸体，所述第一气缸的活塞杆端部铰接在所述支撑杆上，利用装置可以方便的调节真空腔室内基材的角度和位置，且装置固定基材方便可靠。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，特别涉及一种板材的真空镀膜装置。

背景技术

真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空沉积腔室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物(称靶材)进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基材)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

在真空镀膜的过程中，比较常见和利用的是蒸发镀膜，蒸发镀膜是对放置靶材的坩埚进行加热，使得靶材蒸发涂镀到基材表面，根据真空镀膜工艺的需求，有时候需要对基材的位置和角度进行调整。现有的板材真空镀膜装置在使用时，固定基材的方式较为复杂，且基材被固定之后无法进行位置的调整，因此需要对其进行改进。

实用新型内容

针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种板材的真空镀膜装置，以解决背景技术中提到的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种板材的真空镀膜装置，包括真空箱体，所述真空箱体内设置有真空腔室，所述真空腔室的底部设置有用于高频感应电流加热的蒸发坩埚，所述真空箱体的顶部固定有伺服电机，所述伺服电机驱动第一固定杆在所述真空腔室内转动，所述第一固定杆的外部螺纹连接有螺纹环套，所述螺纹环套上铰接有若干个支撑杆，所述支撑杆的端部固定有L形板，所述L形板上滑移连接有用于将待镀基材夹紧的夹板，所述L形板上固定有固定板，所述固定板与所述夹板之间连接有弹簧，所述弹簧的一端固定在所述固定板上，所述弹簧的另一端固定在所述夹板上，所述第一固定杆上还铰接有第一气缸的缸体，所述第一气缸的活塞杆端部铰接在所述支撑杆上。

通过采用上述技术方案，利用板材的真空镀膜装置可以方便的调节真空腔室内基材的角度和位置，且板材的真空镀膜装置固定基材方便可靠；当真空镀膜时，在弹簧的弹力作用下，基材可以被牢靠的夹持固定在夹板和L形板之间，蒸发坩埚可以将靶材蒸发到板材的表面，利用伺服电机能够带动第一固定杆转动，能够带动螺纹环套旋转，从而能够带动基材水平转动，利用第一气缸能够带动支撑杆和L形板转动，从而能够对基材的角度进行调节。

较佳的，所述真空箱体内转动连接有第二固定杆，所述伺服电机驱动所述第二固定杆转动，所述第一固定杆的端部固定有第一轴环，所述第二固定杆在靠近所述第一固定杆的一端固定有第二轴环，所述第一轴环和所述第二轴环的外部共同螺纹连接有紧固套。

通过采用上述技术方案，通过第一固定杆和第二固定杆的连接能够方便第一固定杆的拆卸和安装，当将第一固定杆安装到第二固定杆端部时，先将第一轴环和第二轴环的端面对接，再拧紧紧固套即可实现锁定。

较佳的，所述伺服电机和所述第二固定杆之间设置有减速器，所述减速器的输入端与所述伺服电机的电机轴连接，所述减速器的输出端与所述第二固定杆的端部连接。

通过采用上述技术方案，伺服电机和第二固定杆之间的减速器能够降低第二固定杆的转动速度，使得基材水平转动时更加平缓。