[实用新型]一种板材的真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201920067033.6 | 申请日： | 2019-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN209957890U | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 蒋建华;向毅 | 申请（专利权）人： | 昆山金百辰金属科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 32329 苏州衡创知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 仲昌民 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固定杆 支撑杆 铰接 真空腔室 真空箱体 螺纹环 真空腔 基材 气缸 室内 高频感应电流 技术方案要点 伺服电机驱动 真空镀膜装置 本实用新型 活塞杆端部 夹板 利用装置 螺纹连接 伺服电机 蒸发坩埚 装置固定 真空箱 镀基 缸体 夹紧 上滑 加热 转动 体内 外部 | ||
1.一种板材的真空镀膜装置，包括真空箱体(1)，所述真空箱体(1)内设置有真空腔室(2)，所述真空腔室(2)的底部设置有用于高频感应电流加热的蒸发坩埚(3)，其特征在于：所述真空箱体(1)的顶部固定有伺服电机(4)，所述伺服电机(4)驱动第一固定杆(6)在所述真空腔室(2)内转动，所述第一固定杆(6)的外部螺纹连接有螺纹环套(7)，所述螺纹环套(7)上铰接有若干个支撑杆(8)，所述支撑杆(8)的端部固定有L形板(9)，所述L形板(9)上滑移连接有用于将待镀基材夹紧的夹板(10)，所述L形板(9)上固定有固定板(11)，所述固定板(11)与所述夹板(10)之间连接有弹簧(12)，所述弹簧(12)的一端固定在所述固定板(11)上，所述弹簧(12)的另一端固定在所述夹板(10)上，所述第一固定杆(6)上还铰接有第一气缸(13)的缸体，所述第一气缸(13)的活塞杆端部铰接在所述支撑杆(8)上。
2.根据权利要求1所述的一种板材的真空镀膜装置，其特征在于：所述真空箱体(1)内转动连接有第二固定杆(14)，所述伺服电机(4)驱动所述第二固定杆(14)转动，所述第一固定杆(6)的端部固定有第一轴环(15)，所述第二固定杆(14)在靠近所述第一固定杆(6)的一端固定有第二轴环(16)，所述第一轴环(15)和所述第二轴环(16)的外部共同螺纹连接有紧固套(17)。
3.根据权利要求2所述的一种板材的真空镀膜装置，其特征在于：所述伺服电机(4)和所述第二固定杆(14)之间设置有减速器(18)，所述减速器(18)的输入端与所述伺服电机(4)的电机轴连接，所述减速器(18)的输出端与所述第二固定杆(14)的端部连接。
4.根据权利要求1所述的一种板材的真空镀膜装置，其特征在于：所述第一固定杆(6)上具有与所述第一固定杆(6)一体成型的轴肩(19)，所述第一固定杆(6)的外部还螺纹连接有锁紧螺母(20)，所述螺纹环套(7)位于所述轴肩(19)和所述锁紧螺母(20)之间。
5.根据权利要求1所述的一种板材的真空镀膜装置，其特征在于：所述蒸发坩埚(3)固定在支撑板(21)的上方，所述支撑板(21)沿竖直方向滑移连接在所述真空腔室(2)内。
6.根据权利要求5所述的一种板材的真空镀膜装置，其特征在于：所述真空腔室(2)的底部固定有第二气缸(22)的缸体，所述第二气缸(22)的活塞杆端部固定在所述支撑板(21)的下方。
7.根据权利要求6所述的一种板材的真空镀膜装置，其特征在于：所述真空腔室(2)的底部固定有导向杆(23)，所述支撑板(21)上开设有供所述导向杆(23)穿过的导向孔(24)。
8.根据权利要求1所述的一种板材的真空镀膜装置，其特征在于：所述L形板(9)在靠近所述夹板(10)的一面固定有第一弹性垫(25)，所述夹板(10)在远离所述弹簧(12)的一面固定有第二弹性垫(26)。
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