[实用新型]感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备有效
| 申请号： | 201920056555.6 | 申请日： | 2019-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN209690227U | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 陈韦帆 | 申请（专利权）人： | 翊胜企业有限公司;咏馥企业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;G01N1/38;G01N1/34;G01N1/44;G05D27/02 |
| 代理公司： | 32237 江苏圣典律师事务所 | 代理人： | 邓丽<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 中国台湾高*** | 国省代码： | 中国台湾;TW |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备,其包含有一机壳、一氨气管路、一氦气管路及一混合管线所构成，其中，该氨气管路、该氦气管路及该混合管线元是安装于该机壳内的安装空间，该氨气管路及该氦气管路通过该混合管线将氨气、氦气予以混合后引导到该感应藕合电浆质谱仪提供检验作业，如此一来通过本创作能通过氨气管路及氦气管路将气体予以混合，是以混合气体浓度能随时控制，进而保护感应藕合电浆质谱仪及增加检验的便利性。 | ||
| 搜索关键词： | 氨气管路 氦气管路 混合管线 质谱仪 电浆 藕合 氨气 气体混合设备 本实用新型 安装空间 混合气体 便利性 氦气 检验 创作 | ||
【主权项】：
1.一种感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备，其特征在于：该气体混合设备提供该感应藕合电浆质谱仪消除检测样品背景值杂质的反应气体，该气体混合设备包含有：/n一机壳，该机壳设有一提供管路设置的安装空间，又该机壳具有一输入侧及一输出侧；/n一氨气管路，其由一氨气供应模组通过一管线由该机壳的输入侧输送氨气，该氨气管路于该安装空间中设有一第一调压阀及一第二调压阀，该第一调压阀与该第二调压阀之间设有氨气质量流量计，又从该第二调压阀的管线上拉一混合管线，该第一调压阀用于调整该氨气供应模组到该氨气质量流量计之间的压力值，该氨气质量流量计是用于调整流入的氨气量进而控制混合气体，该第二调压阀则用于控制该氨气质量流量计及该混合管线的压力值，又，该第二调压阀与该混合管线之间设有一单向阀防止氨气逆流；/n一氦气管路，其由一氦气供应模组通过一管线由该机壳的输入侧输送氦气，该氦气管路于该安装空间中设有一第三调压阀及一第四调压阀，该第三调压阀与该第四调压阀之间设有氦气质量流量计，又从该第四调压阀之管线上拉连接于该混合管线，该第三调压阀用于调整该氦气供应模组到该氦气质量流量计之间的压力值，该氦气质量流量计系用于调整流入的氦气量进而控制混合气体，该第四调压阀则用于控制该氦气质量流量计及该混合管线的压力值，又，该第四调压阀与该混合管线之间设有一单向阀防止氦气逆流；/n该混合管线将氨气与氦气混合的该混合气体通过一输出管线由该机壳的输出端将混合气体供给该感应藕合电浆质谱仪进行检测作业。/n
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