[实用新型]感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备

权利要求书

1.一种感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备，其特征在于：该气体混合设备提供该感应藕合电浆质谱仪消除检测样品背景值杂质的反应气体，该气体混合设备包含有：

一机壳，该机壳设有一提供管路设置的安装空间，又该机壳具有一输入侧及一输出侧；

一氨气管路，其由一氨气供应模组通过一管线由该机壳的输入侧输送氨气，该氨气管路于该安装空间中设有一第一调压阀及一第二调压阀，该第一调压阀与该第二调压阀之间设有氨气质量流量计，又从该第二调压阀的管线上拉一混合管线，该第一调压阀用于调整该氨气供应模组到该氨气质量流量计之间的压力值，该氨气质量流量计是用于调整流入的氨气量进而控制混合气体，该第二调压阀则用于控制该氨气质量流量计及该混合管线的压力值，又，该第二调压阀与该混合管线之间设有一单向阀防止氨气逆流；

一氦气管路，其由一氦气供应模组通过一管线由该机壳的输入侧输送氦气，该氦气管路于该安装空间中设有一第三调压阀及一第四调压阀，该第三调压阀与该第四调压阀之间设有氦气质量流量计，又从该第四调压阀之管线上拉连接于该混合管线，该第三调压阀用于调整该氦气供应模组到该氦气质量流量计之间的压力值，该氦气质量流量计系用于调整流入的氦气量进而控制混合气体，该第四调压阀则用于控制该氦气质量流量计及该混合管线的压力值，又，该第四调压阀与该混合管线之间设有一单向阀防止氦气逆流；

该混合管线将氨气与氦气混合的该混合气体通过一输出管线由该机壳的输出端将混合气体供给该感应藕合电浆质谱仪进行检测作业。

2.根据权利要求1所述的感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备，其特征在于：所述的氨气管路、氦气管路、混合管线及输出管路是以不锈钢管所制造。

3.根据权利要求1所述的感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备，其特征在于：所述的氨气供应模组至该输入侧设有一纯化器。

4.根据权利要求1所述的感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备，其特征在于：所述的氨气管路、该混合管线及该输出管线上接设一加热模组进行加热，前述的加热模组是于管路上缠绕多个金属加热带。

5.根据权利要求4所述的感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备，其特征在于：所述的加热模组将该些金属加热带到升温至摄氏70~80℃的范围预防氨水产生。

6.根据权利要求1所述的感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备，其特征在于：所述的混合管线更连接到一混合气体储存单元，藉由该混合气体储存单元能储存大量的混合气体。

7.根据权利要求1所述的感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备，其特征在于：所述的氨气管路更设有一氨气压力计，该氦气管路更设有一氦气压力计，该氨气压力计及该氦气压力计提供使用者调整氨气管路及氦气管路内的压力值。