[实用新型]感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备

说明书

本实用新型涉及一种感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备,其包含有一机壳、一氨气管路、一氦气管路及一混合管线所构成，其中，该氨气管路、该氦气管路及该混合管线元是安装于该机壳内的安装空间，该氨气管路及该氦气管路通过该混合管线将氨气、氦气予以混合后引导到该感应藕合电浆质谱仪提供检验作业，如此一来通过本创作能通过氨气管路及氦气管路将气体予以混合，是以混合气体浓度能随时控制，进而保护感应藕合电浆质谱仪及增加检验的便利性。

【技术领域】

本实用新型涉及一种感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备，属于检测设备的气体供应模组有关技术领域。

【背景技术】

从1984年开发出第一台商业化感应藕合电浆质谱仪(ICP-MS)后，感应藕合电浆质谱仪挟带快速、灵敏、同时多元素测定、基质效应少与线性范围广的特点，迅速发展成为微量无机元素领域极重要的技术。

感应藕合电浆质谱仪包含有一样品导入系统、一感应藕合电浆离子源与质谱仪三大部分，各种不同组合的感应藕合电浆质谱仪都具有相同的感应藕合电浆装置，包含一组约1,500瓦产生氩气电浆的焰炬，在5,000~10,000K的高温电浆中，分解、游离注入的分析物，成为带一价或二价正电荷的原子态离子或化合物离子，作为质谱仪的离子源。

产生感应藕合电浆的焰炬管是由三层同心石英管组成，混合气体由下端输入，功能分别：外层氩气；作为冷却气流或电浆气流，形成稳定电浆、冷却石英管；中层氩气：作为辅助气流或中间气流，防止试样注入管过热调整取样位置；内层气流称为：注入管载送雾化的样品注入电浆。

但是前述的感应藕合电浆质谱仪需要配合一气体供应设备，国内目前的检测单位、检测业者或者实验室、使用者大多以纯氨气当作反应气体，但是氨气容易与空气中的水汽混合进而形成氨水，氨水为强硷具有腐蚀性对人体有危害，并且以纯粹的氨气当作反应气体较容易损坏感应藕合电浆质谱仪。

是以，要如何解决上述习知的问题与缺失，即为相关业者所亟欲研发的课题。

【实用新型内容】

本实用新型的目的在于：针对现有技术的缺陷和不足，提供一种感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备，通过一氨气质量流量计与一氦气质量流量计即可快速的控制混合气体的比例值，如此一来免除使用者不懂调整反应气体比例造成检验设备损坏的情况发生。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种感应藕合电浆质谱仪的气体混合设备，该气体混合设备提供该感应藕合电浆质谱仪消除检测样品背景值杂质的反应气体，该气体混合设备包含有：

一机壳，该机壳设有一提供管路设置的安装空间，又该机壳具有一输入侧及一输出侧；

一氨气管路，其由一氨气供应模组通过一管线由该机壳的输入侧输送氨气，该氨气管路于该安装空间中设有一第一调压阀及一第二调压阀，该第一调压阀与该第二调压阀之间设有氨气质量流量计，又从该第二调压阀的管线上拉一混合管线，该第一调压阀用于调整该氨气供应模组到该氨气质量流量计之间的压力值，该氨气质量流量计是用于调整流入的氨气量进而控制混合气体，该第二调压阀则用于控制该氨气质量流量计及该混合管线的压力值，又，该第二调压阀与该混合管线之间设有一单向阀防止氨气逆流；

一氦气管路，其由一氦气供应模组通过一管线由该机壳的输入侧输送氦气，该氦气管路于该安装空间中设有一第三调压阀及一第四调压阀，该第三调压阀与该第四调压阀之间设有氦气质量流量计，又从该第四调压阀之管线上拉连接于该混合管线，该第三调压阀用于调整该氦气供应模组到该氦气质量流量计之间的压力值，该氦气质量流量计系用于调整流入的氦气量进而控制混合气体，该第四调压阀则用于控制该氦气质量流量计及该混合管线的压力值，又，该第四调压阀与该混合管线之间设有一单向阀防止氦气逆流；

该混合管线将氨气与氦气混合的该混合气体通过一输出管线由该机壳的输出端将混合气体供给该感应藕合电浆质谱仪进行检测作业。