[发明专利]半导体设备控制系统的启动方法及装置有效
| 申请号： | 201911409233.6 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111176170B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 曹光英 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体设备控制系统的启动方法，所述半导体设备包括多个执行单元，所述方法包括：依次扫描所述多个执行单元；在扫描当前执行单元成功时，继续扫描下一所述执行单元；在扫描当前执行单元失败时，记录失败信息，并继续扫描下一所述执行单元；在扫描完所述多个执行单元后，启动所述控制系统。本发明还提供一种启动装置。利用所述启动方法启动所述半导体设备控制系统能够确保半导体设备的正常运行。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 控制系统 启动 方法 装置 | ||
【主权项】：
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