[发明专利]半导体设备控制系统的启动方法及装置

权利要求书

1.一种半导体设备控制系统的启动方法，所述半导体设备包括多个执行单元，其特征在于，所述方法包括：

依次扫描所述多个执行单元；

在扫描当前执行单元成功时，继续扫描下一所述执行单元；

在扫描当前执行单元失败时，记录失败信息，并继续扫描下一所述执行单元；

在扫描完所述多个执行单元后，启动所述控制系统对已经扫描成功的所述执行单元进行控制。

2.根据权利要求1所述的启动方法，其特征在于，在扫描当前执行单元失败时，还包括：

发送报警信息，所述报警信息包括所述失败信息。

3.根据权利要求1所述的启动方法，其特征在于，在扫描完所述多个执行单元后，还包括：

显示记录的全部失败信息。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的启动方法，其特征在于，所述失败信息包括：表明扫描失败状态和/或扫描失败原因的状态标记位。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的启动方法，其特征在于，所述多个执行单元包括机械手、转运港、电机、冷泵、冷却器、热交换器、脉冲直流电源、电磁阀组、流量计、红外测温仪、可编程逻辑控制器中的至少二者。

6.一种半导体设备控制系统的启动装置，所述半导体设备包括多个执行单元，其特征在于，所述启动装置包括：

扫描模块，用于依次扫描所述多个执行单元；在扫描当前执行单元成功时，继续扫描下一所述执行单元；在扫描当前执行单元失败时，记录失败信息，并继续扫描下一所述执行单元；

启动模块，用于在所述扫描模块扫描完所述多个执行单元后，启动所述控制系统对已经扫描成功的所述执行单元进行控制。

7.根据权利要求6所述的启动装置，其特征在于，

所述扫描模块，还用于在扫描所述当前执行单元失败时，发送报警信息，所述报警信息包括所述失败信息。

8.根据权利要求6所述的启动装置，其特征在于，

所述扫描模块，还用于在扫描完所述多个执行单元后，显示记录的全部失败信息。

9.根据权利要求6至8中任意一项所述的启动装置，其特征在于，所述失败信息包括：表明扫描失败状态和/或扫描失败原因的状态标记位。

10.根据权利要求6至8中任意一项所述的启动装置，其特征在于，所述多个执行单元包括机械手、转运港、电机、冷泵、冷却器、热交换器、脉冲直流电源、电磁阀组、流量计、红外测温仪、可编程逻辑控制器中的至少二者。