[发明专利]半导体设备控制系统的启动方法及装置

说明书

本发明提供一种半导体设备控制系统的启动方法，所述半导体设备包括多个执行单元，所述方法包括：依次扫描所述多个执行单元；在扫描当前执行单元成功时，继续扫描下一所述执行单元；在扫描当前执行单元失败时，记录失败信息，并继续扫描下一所述执行单元；在扫描完所述多个执行单元后，启动所述控制系统。本发明还提供一种启动装置。利用所述启动方法启动所述半导体设备控制系统能够确保半导体设备的正常运行。

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种半导体设备控制系统的启动方法及装置。

背景技术

半导体设备通常包括上位机、下位机和多个执行单元(机械手、冷泵等执行单元)。操作者通过上位机与下位机通信，下位机可以与各个执行单元进行通信，以控制各执行单元执行各种操作。

为了控制各个执行单元，下位机首先要启动驱动软件，但是，下位机软件经常启动失败，导致整个半导体设备都无法正常运行，并且，无法排查故障发生的位置和原因。

因此，如何确保半导体设备的正常运行、以及排查故障发生的位置和原因成为本领域亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体设备控制系统的启动方法及装置，以至少解决上述技术问题之一。

为了实现上述目的，作为本发明的一个方面，提供一种半导体设备控制系统的启动方法，所述半导体设备包括多个执行单元，其中，所述方法包括：

依次扫描所述多个执行单元；

在扫描当前执行单元成功时，继续扫描下一所述执行单元；

在扫描当前执行单元失败时，记录失败信息，并继续扫描下一所述执行单元；

在扫描完所述多个执行单元后，启动所述控制系统。

可选地，在扫描当前执行单元失败时，还包括：

发送报警信息，所述报警信息包括所述失败信息。

可选地，在扫描完所述多个执行单元后，还包括：

显示记录的全部失败信息。

可选地，所述失败信息包括：表明扫描失败状态和/或扫描失败原因的状态标记位。

可选地，所述多个执行单元包括机械手、转运港、电机、冷泵、冷却器、热交换器、脉冲直流电源、电磁阀组、流量计、红外测温仪、可编程逻辑控制器中的至少二者。

作为基本公开的第二个方面，提供一种半导体设备控制系统的启动装置，所述半导体设备包括多个执行单元，其中，所述启动装置包括：

扫描模块，用于依次扫描所述多个执行单元；在扫描当前执行单元成功时，继续扫描下一所述执行单元；在扫描当前执行单元失败时，记录失败信息，并继续扫描下一所述执行单元；

启动模块，用于在所述扫描模块扫描完所述多个执行单元后，启动所述控制系统。

可选地，所述扫描模块，还用于在扫描所述当前执行单元失败时，发送报警信息，所述报警信息包括所述失败信息。

可选地，所述扫描模块，还用于在扫描所述当前执行单元失败时，发送报警信息，所述报警信息包括所述失败信息。

可选地，所述失败信息包括：表明扫描失败状态和/或扫描失败原因的状态标记位。

可选地，所述多个执行单元包括机械手、转运港、电机、冷泵、冷却器、热交换器、脉冲直流电源、电磁阀组、流量计、红外测温仪、可编程逻辑控制器中的至少二者。