[发明专利]用于同时蚀刻包含氧化锌及银的层压膜的蚀刻液组合物有效
| 申请号： | 201911380289.3 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111378453B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木辽;高桥秀树;清水寿和;中村伸宏;増茂邦雄;渡边晓 | 申请（专利权）人： | 关东化学株式会社 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00;C09K13/04;C09K13/06;C23F1/30;C23F1/40;C23F1/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 高一平;徐迅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的目的在于，提供可以在缩小氧化锌或包含氧化锌的透明金属氧化物膜与银或银合金膜相邻的层压膜的侧面蚀刻差的同时，简单且经济地进行蚀刻的蚀刻液组合物。本发明涉及用于同时蚀刻氧化锌或包含氧化锌的透明金属氧化物膜与银或银合金膜相邻的层压膜底板的上述两个膜的蚀刻液组合物，其包含(A)过氧化氢、(B)银络合剂、以及(C)水。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 同时 蚀刻 包含 氧化锌 层压 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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