[发明专利]一种抛光机有效
| 申请号： | 201911377700.1 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111113241B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 王腾;阴俊沛 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B27/00;B24B57/02;B24B47/12;B24B47/06 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光机，包括若干抛光盘和驱动结构，且所述抛光盘的数量至少为3个，其中，所述若干抛光盘沿轴向方向依次排布，且所述驱动机构驱动相邻的所述抛光盘以相反的方向旋转。本发明所提供的抛光机包括有至少三个抛光盘，采用这种结构可以实现利用多个抛光盘对多个硅片同时进行双面抛光，使硅片的抛光效率得到了很大的提高，其有利于适应于快节奏的生产模式，提高企业的生产效率和经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光机 | ||
【主权项】：
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