[发明专利]一种抛光机有效
申请号: | 201911377700.1 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN111113241B | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 王腾;阴俊沛 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B27/00;B24B57/02;B24B47/12;B24B47/06 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 刘长春 |
地址: | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 抛光机 | ||
1.一种抛光机,其特征在于,包括若干抛光盘和驱动机构,且所述抛光盘的数量至少为3个,其中,
所述若干抛光盘沿轴向方向依次排布,且所述驱动机构驱动相邻的所述抛光盘以相反的方向旋转;
所述若干抛光盘包括位于第一区域的至少1个第一抛光盘,且在所述第一抛光盘的数量为2个以上时,所述第一抛光盘的传动轴具有中空结构,且相邻的2个所述第一抛光盘的传动轴依次套设;
在所述第一抛光盘的数量为2个以上时,所述抛光机还包括第一进液管道、若干第一喷射头,所述第一进液管道置于所有与所述第一抛光盘连接的传动轴中位于最内侧的传动轴的中空结构中,且所述最内侧的传动轴带动所述第一进液管道共同旋转,所述第一进液管道连通于所述第一喷射头,所述第一喷射头连通至所述第一抛光盘上,并通过所述第一喷射头向所述第一抛光盘的抛光垫输送抛光液,其中所述第一进液管道设置在处于第一区域下端的第一抛光盘对应连接的传动轴的中空结构中,且处于下端的第一抛光盘对应连通所述第一喷射头,以将抛光液输送至所述处于下端的第一抛光盘上下两个端面的抛光垫上;
所述若干抛光盘包括位于第二区域的至少1个第二抛光盘,且在所述第二抛光盘的数量为2个以上时,所述第二抛光盘的传动轴具有中空结构,且相邻的2个所述第二抛光盘的传动轴依次套设;
在所述第二抛光盘的数量为2个以上时,所述抛光机还包括第二进液管道、若干第二喷射头,所述第二进液管道置于所有与所述第二抛光盘连接的传动轴中位于最内侧的传动轴的中空结构中,且所述最内侧的传动轴带动所述第二进液管道共同旋转,所述第二进液管道连通于所述第二喷射头,所述第二喷射头连通至所述第二抛光盘上,并通过所述第二喷射头向所述第二抛光盘的抛光垫输送抛光液;其中所述第二进液管道设置在处于第二区域上端的第二抛光盘对应连接的传动轴的中空结构中,且处于上端的第二抛光盘对应连通所述第二喷射头,以将抛光液输送至处于上端的第二抛光盘上下两个端面的抛光垫上。
2.根据权利要求1所述的抛光机,其特征在于,所述驱动机构包括与所述抛光盘个数对应数量的驱动装置,其中,每个所述抛光盘由对应的驱动装置独立驱动。
3.根据权利要求2所述的抛光机,其特征在于,所述驱动装置通过带传动装置与所述抛光盘的传动轴相连接。
4.根据权利要求1所述的抛光机,其特征在于,还包括若干高度调节装置,所述高度调节装置与对应的所述抛光盘连接,用于驱动所述抛光盘沿竖向移动并固定在指定高度处。
5.根据权利要求1所述的抛光机,其特征在于,还包括第一抛光液箱、第一管道和第一喷头,所述第一抛光液箱连接所述第一管道的一端,所述第一管道的另一端连接所述第一喷头的一端,所述第一喷头的另一端对应所述第一进液管道的进液端。
6.根据权利要求1所述的抛光机,其特征在于,还包括第二抛光液箱、第二管道和第二喷头,所述第二抛光液箱连接所述第二管道的一端,所述第二管道的另一端连接所述第二喷头的一端,所述第二喷头的另一端对应所述第二进液管道的进液端。
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