[发明专利]半导体工艺炉的电极机构和半导体工艺炉

摘要

本发明提供一种半导体工艺炉的电极机构和半导体工艺炉，半导体工艺炉的电极机构包括连接板、第一电极组件、第二电极组件、第一传导座、第二传导座和悬臂组件，其中，连接板与半导体工艺炉的炉门连接；悬臂组件穿过连接板及炉门向半导体工艺炉炉体的方向延伸；第一传导座、第二传导座设置在悬臂组件上，分别与半导体工艺炉的晶舟的两个端部可分离的电连接；第一电极组件穿设于悬臂组件内部，与第一传导座电连接；第二电极组组件穿过连接板及炉门与第二传导座电连接。本发明提供的半导体工艺炉的电极机构和半导体工艺炉，能够改善工艺结果，减少工艺时间，增加设备产能，降低加工成本。