[发明专利]一种工件储存运输装置在审
| 申请号： | 201911367131.2 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN111112221A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 李昀泽 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工件储存运输装置，包括储存机构、运输机构和超声波系统，其中，储存机构包括保护容器和容纳在保护容器中的清洗槽，清洗槽的顶部包括用于放置待运输工件的开口；运输机构包括水平设置的载物板，保护容器以可拆卸的方式固定在载物板上；超声波系统设置在载物板上，用于使清洗槽中的清洗液进行超声振动。该工件储存运输装置适用于抛光后未清洗工件的储存及运输过程，可大幅度减少未清洗工件表面颗粒等杂质，降低后续清洗设备的清洗压力，提高最终产品的质量，且本发明的清洗槽可以方便地从运输机构上分离并直接运输到后续清洁设备中，可实现清洗设备抓取工件的自动化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 储存 运输 装置 | ||
【主权项】：
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