[发明专利]一种工件储存运输装置在审
申请号: | 201911367131.2 | 申请日: | 2019-12-26 |
公开(公告)号: | CN111112221A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 李昀泽 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B13/00;H01L21/677 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 刘长春 |
地址: | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 工件 储存 运输 装置 | ||
1.一种工件储存运输装置,其特征在于,包括储存机构、运输机构和超声波系统,其中,
所述储存机构包括保护容器(1)和容纳在所述保护容器(1)中的清洗槽(2),所述清洗槽(2)的顶部包括用于放置待运输工件的开口(21);所述运输机构包括水平设置的载物板(4),所述保护容器(1)以可拆卸的方式固定在所述载物板(4)上;所述超声波系统设置在所述载物板(4)上,用于使所述清洗槽(2)中的清洗液进行超声振动。
2.根据权利要求1所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述载物板(4)上设置有多个可升降固定销(5),所述可升降固定销(5)能够缩进或伸出所述载物板(4);所述保护容器(1)的底部外表面上开设有多个固定槽(6),并且所述可升降固定销(5)在伸出所述载物板(4)时能够插入对应的所述固定槽(6)中。
3.根据权利要求2所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述固定槽(6)的内径略大于所述可升降固定销(5)的外径。
4.根据权利要求2所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述运输机构上还设置有脚踏板,所述脚踏板连接至所述可升降固定销(5),以控制所述可升降固定销(5)进行升降。
5.根据权利要求2所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述超声波系统包括彼此电连接的超声波振动板(7)和超声波发生机构(8),其中,所述超声波振动板(7)设置在所述保护容器(1)的内部,且所述清洗槽(2)设置在所述超声波振动板(7)上。
6.根据权利要求5所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述超声波发生机构(8)固定在所述载物板(4)的下表面。
7.根据权利要求5所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述多个可升降固定销(5)中的一个的内部设置有所述超声波发生机构(8)的信号接收顶针(9),所述超声波振动板(7)通过线缆(10)连接至所述信号接收顶针(9)。
8.根据权利要求1所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述运输机构上还设置有溢流系统,所述溢流系统连接至所述清洗槽(2),以控制所述清洗槽(2)内的清洗液以自下而上流动的方式清洗所述工件。
9.根据权利要求8所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述溢流系统包括循环管路(11)、循环泵(12)和过滤器(13),其中,
所述循环管路(11)的第一端连接至所述清洗槽(2)的上部,第二端连接至所述清洗槽(2)的底部;所述循环泵(12)和所述过滤器(13)设置在所述循环管路(11)上,所述循环泵(12)用于控制所述清洗液从所述清洗槽(2)的上部通过所述循环管路(11)流回所述清洗槽(2)的底部。
10.根据权利要求9所述的工件储存运输装置,其特征在于,位于所述清洗槽(2)顶部的所述开口(21)沿周向方向设置有溢流收集槽(14),所述循环管路(11)的第一端连接至所述溢流收集槽(14)的底部。
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