[发明专利]一种工件储存运输装置在审

专利信息
申请号: 201911367131.2 申请日: 2019-12-26
公开(公告)号: CN111112221A 公开(公告)日: 2020-05-08
发明(设计)人: 李昀泽 申请(专利权)人: 西安奕斯伟硅片技术有限公司
主分类号: B08B3/12 分类号: B08B3/12;B08B13/00;H01L21/677
代理公司: 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 代理人: 刘长春
地址: 710065 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 工件 储存 运输 装置
【权利要求书】:

1.一种工件储存运输装置,其特征在于,包括储存机构、运输机构和超声波系统,其中,

所述储存机构包括保护容器(1)和容纳在所述保护容器(1)中的清洗槽(2),所述清洗槽(2)的顶部包括用于放置待运输工件的开口(21);所述运输机构包括水平设置的载物板(4),所述保护容器(1)以可拆卸的方式固定在所述载物板(4)上;所述超声波系统设置在所述载物板(4)上,用于使所述清洗槽(2)中的清洗液进行超声振动。

2.根据权利要求1所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述载物板(4)上设置有多个可升降固定销(5),所述可升降固定销(5)能够缩进或伸出所述载物板(4);所述保护容器(1)的底部外表面上开设有多个固定槽(6),并且所述可升降固定销(5)在伸出所述载物板(4)时能够插入对应的所述固定槽(6)中。

3.根据权利要求2所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述固定槽(6)的内径略大于所述可升降固定销(5)的外径。

4.根据权利要求2所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述运输机构上还设置有脚踏板,所述脚踏板连接至所述可升降固定销(5),以控制所述可升降固定销(5)进行升降。

5.根据权利要求2所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述超声波系统包括彼此电连接的超声波振动板(7)和超声波发生机构(8),其中,所述超声波振动板(7)设置在所述保护容器(1)的内部,且所述清洗槽(2)设置在所述超声波振动板(7)上。

6.根据权利要求5所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述超声波发生机构(8)固定在所述载物板(4)的下表面。

7.根据权利要求5所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述多个可升降固定销(5)中的一个的内部设置有所述超声波发生机构(8)的信号接收顶针(9),所述超声波振动板(7)通过线缆(10)连接至所述信号接收顶针(9)。

8.根据权利要求1所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述运输机构上还设置有溢流系统,所述溢流系统连接至所述清洗槽(2),以控制所述清洗槽(2)内的清洗液以自下而上流动的方式清洗所述工件。

9.根据权利要求8所述的工件储存运输装置,其特征在于,所述溢流系统包括循环管路(11)、循环泵(12)和过滤器(13),其中,

所述循环管路(11)的第一端连接至所述清洗槽(2)的上部,第二端连接至所述清洗槽(2)的底部;所述循环泵(12)和所述过滤器(13)设置在所述循环管路(11)上,所述循环泵(12)用于控制所述清洗液从所述清洗槽(2)的上部通过所述循环管路(11)流回所述清洗槽(2)的底部。

10.根据权利要求9所述的工件储存运输装置,其特征在于,位于所述清洗槽(2)顶部的所述开口(21)沿周向方向设置有溢流收集槽(14),所述循环管路(11)的第一端连接至所述溢流收集槽(14)的底部。

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