[发明专利]一种气相沉积反应腔体的承载装置及清洗系统有效
| 申请号： | 201911347019.2 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN111112266B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;王力 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/30 | 分类号： | B08B9/30;B08B9/34;H01L21/20 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气相沉积反应腔体的承载装置及清洗系统，该气相沉积反应腔体的承载装置包括：承载板、挡板组件和承托件，其中，承载板上开设有第一开口；挡板组件环绕于承载板的周向，以使挡板组件与承载板形成容纳气相沉积反应腔体的容纳室；承托件跨接于挡板组件的两侧且位于承载板的上方。本发明的气相沉积反应腔体的承载装置有效地保护了气相沉积反应腔体，避免气相沉积反应腔体因为夹持压力过大而破裂或者压力过小而滑落损坏，同时在承载装置进行下降放入清洗室的过程中，承载板的底部与清洗室底部发生接触，避免了气相沉积反应腔体的开口端与清洗室底部直接碰撞而发生损坏，从而降低了气相沉积反应腔体的损坏率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 反应 承载 装置 清洗 系统 | ||
【主权项】：
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