[发明专利]一种空气包层SU8阵列波导光栅有效
| 申请号： | 201911337221.7 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN110989079B | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 陶青;余鑫;刘顿;陈列;杨奇彪;娄德元;翟中生;郑重;成健 | 申请（专利权）人： | 湖北工业大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 胡琦旖 |
| 地址： | 430068 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于光纤通信技术领域，公开了一种空气包层SU8阵列波导光栅，包括依次连接的输入信道波导、输入平板波导、阵列波导、输出平板波导、输出信道波导；阵列波导光栅采用SU8胶在二氧化硅衬底上制作而成，所述阵列波导光栅采用空气包层。本发明解决了现有技术中阵列波导光栅的制作过程复杂、集成度不高的问题，本发明的光波损耗小、热稳定性好、加工方法简单，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空气 包层 su8 阵列 波导 光栅 | ||
【主权项】：
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