[发明专利]一种空气包层SU8阵列波导光栅

说明书

本发明属于光纤通信技术领域，公开了一种空气包层SU8阵列波导光栅，包括依次连接的输入信道波导、输入平板波导、阵列波导、输出平板波导、输出信道波导；阵列波导光栅采用SU8胶在二氧化硅衬底上制作而成，所述阵列波导光栅采用空气包层。本发明解决了现有技术中阵列波导光栅的制作过程复杂、集成度不高的问题，本发明的光波损耗小、热稳定性好、加工方法简单，效率高。

技术领域

本发明涉及光纤通信技术领域，尤其涉及一种空气包层SU8阵列波导光栅。

背景技术

全球互连网的迅速普及、光纤到户和家庭办公的崛起，使主干网和局域网的通信容量猛增，波分复用技术(Wavelength Division Multiplexing，WDM)充分利用了光纤的巨大带宽资源，用波分复用的方式来改进传输效率、提高复用效率、扩充传输容量，是实现大容量、高速率光纤通信的必然选择。

波分复用/解复用器是波分复用光纤通信系统中最关键的器件阵列波导光栅(Arrayed Waveguide Grating，AWG)是集成光电子系统中的重要功能器件，可用于构建波分复用光通信系统中的波分复用器/解复用器、波长路由器。

目前，大多数用构建阵列波导光栅的加工工艺复杂，程序繁琐，集成度不高。为此，如何提供一种对现有工艺兼容，制作高效，且能够实现器件集成化的阵列光栅波导成为当前需要解决的技术问题。

发明内容

本申请实施例通过提供一种空气包层SU8阵列波导光栅，解决了现有技术中阵列波导光栅的制作过程复杂、集成度不高的问题。

本申请实施例提供一种空气包层SU8阵列波导光栅，包括依次连接的输入信道波导、输入平板波导、阵列波导、输出平板波导、输出信道波导；阵列波导光栅采用SU8胶在二氧化硅衬底上制作而成，所述阵列波导光栅采用空气包层。

优选的，所述输入信道波导包括第一直波导段、第一弯曲波导段；所述输出信道波导包括多条通道，每条通道均包括第二弯曲波导段、第二直波导段。

优选的，所述阵列波导包括多条波导，每条波导均包括第三直波导段、第三弯曲波导段、第四直波导段。

优选的，所述输入信道波导、所述输出信道波导均采用垂直耦合结构；所述输入信道波导的所述第一直波导段设置有第一反射平面、第一入射平面，所述第一反射平面与所述第一入射平面的夹角为45°；所述输出信道波导的所述第二直波导段设置有第二反射平面、第二入射平面，所述第二反射平面与所述第二入射平面的夹角为45°。

优选的，所述阵列波导光栅采用飞秒激光烧蚀加工而成。

优选的，所述阵列波导光栅应用于光电电路板时，所述阵列波导光栅与所述光电电路板可拆卸安装，垂直腔面激光器发射的光束通过第一透镜聚焦入射至所述输入信道波导的所述第一反射平面，并反射至所述第一入射平面进行传输，来自所述输出信道波导的所述第二入射平面的光束入射至所述第二反射平面，并反射至第二透镜后聚焦出射到二极管。

本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：

在本申请实施例中，在二氧化硅衬底上使用SU8胶材料制成阵列波导光栅，由于SU8胶具有良好的成膜特性，加热可以消除膜厚的不均匀性，实现膜的自平整、与基地材料无明显互溶问题，光波损耗小、热稳定性好；阵列波导光栅采用空气包层，加工方法简单，效率高。

附图说明

为了更清楚地说明本实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一个实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种空气包层SU8阵列波导光栅的结构示意图；