[发明专利]一种空气包层SU8阵列波导光栅有效
| 申请号： | 201911337221.7 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN110989079B | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 陶青;余鑫;刘顿;陈列;杨奇彪;娄德元;翟中生;郑重;成健 | 申请（专利权）人： | 湖北工业大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 胡琦旖 |
| 地址： | 430068 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 空气 包层 su8 阵列 波导 光栅 | ||
1.一种空气包层SU8阵列波导光栅，其特征在于，包括依次连接的输入信道波导、输入平板波导、阵列波导、输出平板波导、输出信道波导；阵列波导光栅采用SU8胶在二氧化硅衬底上制作而成，所述阵列波导光栅采用空气包层；
所述输入信道波导包括第一直波导段、第一弯曲波导段；所述输出信道波导包括多条通道，每条通道均包括第二弯曲波导段、第二直波导段；
所述输入信道波导、所述输出信道波导均采用垂直耦合结构；所述输入信道波导的所述第一直波导段设置有第一反射平面、第一入射平面，所述第一反射平面与所述第一入射平面的夹角为45°；所述输出信道波导的所述第二直波导段设置有第二反射平面、第二入射平面，所述第二反射平面与所述第二入射平面的夹角为45°；
所述阵列波导光栅应用于光电电路板时，所述阵列波导光栅与所述光电电路板可拆卸安装，垂直腔面激光器发射的光束通过第一透镜聚焦入射至所述输入信道波导的所述第一反射平面，并反射至所述第一入射平面进行传输，来自所述输出信道波导的所述第二入射平面的光束入射至所述第二反射平面，并反射至第二透镜后聚焦出射到二极管。
2.根据权利要求1所述的空气包层SU8阵列波导光栅，其特征在于，所述阵列波导包括多条波导，每条波导均包括第三直波导段、第三弯曲波导段、第四直波导段。
3.根据权利要求1所述的空气包层SU8阵列波导光栅，其特征在于，所述阵列波导光栅采用飞秒激光烧蚀加工而成。
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