[发明专利]一种建立MOSFET中可伸缩电阻模型的方法有效
申请号: | 201911306564.7 | 申请日: | 2019-12-18 |
公开(公告)号: | CN111159964B | 公开(公告)日: | 2023-09-05 |
发明(设计)人: | 季祥海;刘林林;郭奥 | 申请(专利权)人: | 上海集成电路研发中心有限公司 |
主分类号: | G06F30/3308 | 分类号: | G06F30/3308 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;马盼 |
地址: | 201210 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: |
本发明公开了一种建立MOSFET中可伸缩电阻模型的方法,包括:S01:选取MOSFET,得出端头电阻模型;S02:建立源漏电阻辅助测试结构,将所有源区和所有漏区分别短接,并分别测量源区漏区和衬底引出端之间的电阻R |
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搜索关键词: | 一种 建立 mosfet 伸缩 电阻 模型 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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