[发明专利]一种防真空泄漏设备有效
| 申请号： | 201911277095.0 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111081522B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 王帆 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 远明 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种防真空泄漏设备，其包括：反应腔；配管，连通至所述反应腔；销子，可活动式地插入至所述配管地一端；以及密封结构，设于所述销子与所述配管的连接处。所述过防真空泄漏设备还包括弹性部件，连接所述配管与所述销子。当所述反应腔内部压力小于或等于大气压时，所述配管的管体内侧壁与所述销子的销杆外侧壁相切；当所述反应腔内部压力大于大气压时，所述配管的管体内侧壁与所述销子的销杆外侧壁存在间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 泄漏 设备 | ||
【主权项】：
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