[发明专利]一种防真空泄漏设备

说明书

本申请提供一种防真空泄漏设备，其包括：反应腔；配管，连通至所述反应腔；销子，可活动式地插入至所述配管地一端；以及密封结构，设于所述销子与所述配管的连接处。所述过防真空泄漏设备还包括弹性部件，连接所述配管与所述销子。当所述反应腔内部压力小于或等于大气压时，所述配管的管体内侧壁与所述销子的销杆外侧壁相切；当所述反应腔内部压力大于大气压时，所述配管的管体内侧壁与所述销子的销杆外侧壁存在间隙。

技术领域

本申请涉及显示面板制造设备领域，尤其涉及一种防真空泄漏设备。

背景技术

近年来，中小尺寸液晶显示器发展迅猛，LCD、OLED以及LTPS制程均需要使用干法蚀刻机，由于干法蚀刻机里面的腔室都要保证真空无泄漏，且有时还需要在大气(ATM)和真空之间互相切换。

现有的干法刻蚀机台过压(over pressure)装置是在反应腔底部安装一个气动阀，气动阀用于控制过压装置的开启与关闭，而气动阀下部连接一个单向缓冲阀。当腔体过压时，机台电磁阀驱动气动阀，使腔体直接连接至缓冲阀，并与大气相连，这时，腔体过高的压力通过缓冲阀向外排出，最终让腔体内外压力保持一致。由于电磁阀完全依赖于电路结构实现控制，而电路控制有时会出现电控异常现象，导致现有的过压装置发生真空泄漏(chamber leak)情况，进而导致显示面板干法刻蚀不均，关键尺寸(CD)难以控制，容易发生线路断路等风险。

发明内容

本申请的目的在于，提供一种防真空泄漏设备，以解决现有技术的电路控制方案容易产生电控异常现象，导致真空泄漏现象的技术问题。

为了解决上述问题，本申请提供一种防真空泄漏设备，包括：反应腔；配管，连通至所述反应腔；销子，可活动式地插入至所述配管内的一端；以及密封结构，设于所述销子与所述配管的连接处。

进一步地，所述配管包括：管体；第一端口，设于所述管体的一端，且连通至所述反应腔；以及第二端口，设于所述管体的另一端；其中，所述管体的内径由所述第二端口向所述第一端口逐渐缩小。

进一步地，所述管体一端可拆卸式连通至所述反应腔的一侧壁或一底面或一顶面；所述管体的另一端设有一环形突出部。

进一步地，所述销子包括：销头，其一侧的表面与所述配管的所述第二端口相接；以及销杆，垂直连接至所述销头一侧的表面，且插入至所述配管的所述第二端口；其中，所述销杆的外径配合所述管体的内径由所述销头侧向远离所述销头的一侧逐渐缩小。

进一步地，所述销杆为柱体或台体。

进一步地，所述密封结构为密封圈，其一侧的表面与所述销子的所述销头一侧的表面相接，其另一侧的表面与所述管体的所述环形突出部相接。

进一步地，所述密封圈为弹性材质，可选自橡胶、硅胶材质其中之一或其组合。

进一步地，还包括：弹性部件，连接所述配管与所述销子。

进一步地，所述弹性部件为一弹簧，其一端连接至所述配管的所述环形突出部，其另一端连接至所述销子的所述销头。

进一步地，当所述反应腔内部压力小于或等于大气压时，所述配管的管体内侧壁与所述销子的所述销杆外侧壁相接；当所述反应腔内部压力大于大气压时，所述配管的所述管体内侧壁与所述销子的所述销杆外侧壁存在间隙。

本申请的有利效果在于，当反应腔破真空，压力超过大气压时，反应腔内部的压力就会把销子顶开，使反应腔内部的压力快速释放出来。该装置是纯机械组成，有效地避免了电控异常导致的反应腔真空泄漏，保证刻蚀的均匀性，防止发生断路等风险。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1为本申请防真空泄漏设备的结构示意图。