[发明专利]一种防真空泄漏设备有效
申请号: | 201911277095.0 | 申请日: | 2019-12-12 |
公开(公告)号: | CN111081522B | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 王帆 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32;G02F1/13 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 远明 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 泄漏 设备 | ||
1.一种防真空泄漏设备,其特征在于,包括:
反应腔;
配管,连通至所述反应腔;所述配管包括:管体、第一端口和第二端口,所述第一端口设于所述管体的一端,且连通至所述反应腔; 所述第二端口设于所述管体的另一端;其中,所述管体的内径由所述第二端口向所述第一端口逐渐缩小;
销子,可活动式地插入至所述配管内的一端;以及
密封结构,设于所述销子与所述配管的连接处。
2.如权利要求1所述的防真空泄漏设备,其特征在于,所述管体一端可拆卸式连通至所述反应腔的一侧壁或一底面或一顶面;
所述管体的另一端设有一环形突出部。
3.如权利要求2所述的防真空泄漏设备,其特征在于,所述销子包括:
销头,其一侧的表面与所述配管的所述第二端口相接;以及
销杆,垂直连接至所述销头一侧的表面,且插入至所述配管的所述第二端口;
其中,所述销杆的外径配合所述管体的内径由所述销头侧向远离所述销头的一侧逐渐缩小。
4.如权利要求3所述的防真空泄漏设备,其特征在于,所述销杆为柱体或台体。
5.如权利要求3所述的防真空泄漏设备,其特征在于,所述密封结构为密封圈,其一侧的表面与所述销子的所述销头一侧的表面相接,其另一侧的表面与所述管体的所述环形突出部相接。
6.如权利要求5所述的防真空泄漏设备,其特征在于,所述密封圈为弹性材质,可选自橡胶、硅胶材质其中之一或其组合。
7.如权利要求3所述的防真空泄漏设备,其特征在于,还包括:
弹性部件,连接所述配管与所述销子。
8.如权利要求7所述的防真空泄漏设备,其特征在于,所述弹性部件为一弹簧,其一端连接至所述配管的所述环形突出部,其另一端连接至所述销子的所述销头。
9.如权利要求3所述的防真空泄漏设备,其特征在于,当所述反应腔内部压力小于或等于大气压时,所述配管的管体内侧壁与所述销子的所述销杆外侧壁相接;
当所述反应腔内部压力大于大气压时,所述配管的所述管体内侧壁与所述销子的所述销杆外侧壁存在间隙。
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