[发明专利]一种平整度优化的聚偏氟乙烯压电薄膜表面电极制备系统在审
申请号: | 201911264931.1 | 申请日: | 2019-12-11 |
公开(公告)号: | CN111129284A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 方雅晴 | 申请(专利权)人: | 方雅晴 |
主分类号: | H01L41/29 | 分类号: | H01L41/29 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 362807 福建省泉州市泉港区驿峰*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种平整度优化的聚偏氟乙烯压电薄膜表面电极制备系统,其结构包括浊箱、出浊管罩、薄膜制备筒、引风机,浊箱与出浊管罩相邻,薄膜制备筒与出浊管罩、引风机安装连接并且二者相连,薄膜制备筒包括上筒、底罩、匀压盘、侧杆,上筒与底罩安装连接,匀压盘、侧杆安装在底罩上,匀压盘包括匀压分盘、匀压分杆、匀压外盘、匀压内盘,本发明材料在上筒进行热变形,沉积在底罩处成膜,匀压盘均匀膜体中部的胶液,侧杆均匀膜体周边的胶液,匀压盘、侧杆将凹凸泡均匀铺平,使成品膜中部使用时不易击穿,移动轴柱分布不均较为严重的局部进行清理再捋平整,使成品膜边角不易出现卷翘。 | ||
搜索关键词: | 一种 平整 优化 聚偏氟 乙烯 压电 薄膜 表面 电极 制备 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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