[发明专利]一种平整度优化的聚偏氟乙烯压电薄膜表面电极制备系统在审
申请号: | 201911264931.1 | 申请日: | 2019-12-11 |
公开(公告)号: | CN111129284A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 方雅晴 | 申请(专利权)人: | 方雅晴 |
主分类号: | H01L41/29 | 分类号: | H01L41/29 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 362807 福建省泉州市泉港区驿峰*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 平整 优化 聚偏氟 乙烯 压电 薄膜 表面 电极 制备 系统 | ||
本发明公开了一种平整度优化的聚偏氟乙烯压电薄膜表面电极制备系统,其结构包括浊箱、出浊管罩、薄膜制备筒、引风机,浊箱与出浊管罩相邻,薄膜制备筒与出浊管罩、引风机安装连接并且二者相连,薄膜制备筒包括上筒、底罩、匀压盘、侧杆,上筒与底罩安装连接,匀压盘、侧杆安装在底罩上,匀压盘包括匀压分盘、匀压分杆、匀压外盘、匀压内盘,本发明材料在上筒进行热变形,沉积在底罩处成膜,匀压盘均匀膜体中部的胶液,侧杆均匀膜体周边的胶液,匀压盘、侧杆将凹凸泡均匀铺平,使成品膜中部使用时不易击穿,移动轴柱分布不均较为严重的局部进行清理再捋平整,使成品膜边角不易出现卷翘。
技术领域
本发明涉及压电材料领域,具体地说是一种平整度优化的聚偏氟乙烯压电薄膜表面电极制备系统。
背景技术
压电薄膜是目前应用广泛的压电材料之一,薄膜是由离子、原子、或分子的沉积过程形成的,形成过程是聚偏氟乙烯等原料通过热变形形成液态沉积在制备箱底部,不断聚集后以三维方向不断长大最终形成薄膜。
现有技术原料在热变形时,液态分布不均匀,膜中部与边角易形成局部的凹凸泡状,会导致成品膜中部较为脆弱易击穿,边角易出现卷翘,无法保证产品质量。
发明内容
本发明的主要目的在于克服现有技术的不足,提供一种平整度优化的聚偏氟乙烯压电薄膜表面电极制备系统,以解决原料在热变形时,液态分布不均匀,膜中部与边角易形成局部的凹凸泡状,会导致成品膜中部较为脆弱易击穿,边角易出现卷翘,无法保证产品质量的问题。
本发明采用如下技术方案来实现:一种平整度优化的聚偏氟乙烯压电薄膜表面电极制备系统,其结构包括浊箱、出浊管罩、薄膜制备筒、引风机,所述浊箱与出浊管罩相邻,所述薄膜制备筒左右两端与出浊管罩、引风机安装连接并且二者相连,所述薄膜制备筒包括上筒、底罩、匀压盘、侧杆,所述上筒底部与底罩安装连接,所述匀压盘、侧杆安装在底罩上方。
进一步优选的,所述匀压盘包括匀压分盘、匀压分杆、匀压外盘、匀压内盘,所述匀压分盘后端与匀压分杆安装连接,所述匀压分杆安装在匀压外盘、匀压内盘中部,所述匀压外盘与匀压内盘中部轴连接。
进一步优选的,所述匀压内盘包括梯环、双旋盘、锁罩,所述梯环与双旋盘左端轴连接,所述双旋盘与锁罩左端扣接。
进一步优选的,所述双旋盘包括外旋环、内旋环、内旋盘,所述外旋环中部与内旋环扣接,所述内旋环与内旋盘环面安装连接。
进一步优选的,所述侧杆包括一部轴、二部轴、三部轴,所述一部轴右端与二部轴轴连接,所述二部轴与三部轴左端安装连接。
进一步优选的,所述二部轴包括移动轴柱、传动轴环、传动轴板,所述移动轴柱右端与传动轴环啮合,所述传动轴环与传动轴板左端扣接。
进一步优选的,所述移动轴柱包括内轴柱、锥杆、啮杆,所述内轴柱与锥杆内环侧轨道连接,所述锥杆与啮杆左端安装连接。
进一步优选的,所述内轴柱包括轴嵌板、钻轴杆、钻轴锥,所述轴嵌板与钻轴杆上端扣接,所述钻轴杆底端与钻轴锥焊接。
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