[发明专利]一种用于晶圆装载的载具及载具夹持装置

摘要

本发明涉及集成电路生产设备技术领域，且公开了一种用于晶圆装载的载具及载具夹持装置，包括装载晶圆的晶圆载具、可相对移动的第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和第二夹板安装在机械手的驱动结构上。该用于晶圆装载的载具及载具夹持装置，非夹持状态时控制囊处于膨胀状态，将容纳槽完全封堵，不易容纳外部颗粒物，同时避免了颗粒物的飞出，避免了污染晶圆，在夹持时，由于夹紧囊的膨胀抱紧定位块的根部，提高了夹持装置和载具之间的摩擦力，避免夹持时打滑旋转，保持位置的固定，还对定位块和控制囊的容纳槽之间的匹配度要求降低，定位块在位置改变不大的情况下仍然很容易插入容纳槽内，对夹持移动装置的定位要求降低。