[发明专利]一种热驱动可变形微镜有效
| 申请号： | 201911243735.6 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN110927960B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 汤跃;徐立新;李建华;王鹏;谢会开 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学;无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 廖辉 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热驱动可变形微镜，属于自适应光学系统技术领域。该微镜由镜片、电极、支梁和硅结构框架组成，支梁将镜片悬空支承在硅结构框架的中央，镜片由上至下分为三层，依次为金属反射层、二氧化硅层和硅层，支梁与镜片的硅层为同种材质整体成型，硅结构框架与支梁之间由二氧化硅层绝缘，电极设置在硅结构框架的表面与支梁相连，对电极通电后，支梁和镜片形成电流回路并发热，利用金属和硅的热膨胀系数不同使得镜片产生变形。本发明通过通电控制金属和硅两种不同材料的加热温度，达到镜面变形的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 变形 | ||
【主权项】：
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