[发明专利]一种热驱动可变形微镜

权利要求书

1.一种热驱动可变形微镜，其特征在于，该微镜由镜片、电极、支梁和硅结构框架组成，所述支梁将镜片悬空支承在硅结构框架的中央，所述镜片由上至下分为三层，依次为铝反射层、二氧化硅层和硅层，所述支梁与镜片的硅层为同种材质整体成型，所述硅结构框架与支梁之间由二氧化硅层绝缘，所述电极设置在硅结构框架的表面与支梁相连，对电极通电后，支梁和镜片形成电流回路并发热，利用铝反射层和硅层的热膨胀系数不同使得镜片产生变形。

2.如权利要求1所述的热驱动可变形微镜，其特征在于，所述镜片中硅层的半径与铝反射层的半径相同。

3.如权利要求1或2所述的热驱动可变形微镜，其特征在于，所述支梁采用分叉式悬臂梁结构，悬臂梁在平面内呈迂回排列，悬臂梁的分叉端位于硅结构框架上，汇合端位于镜片上。

4.如权利要求1所述的热驱动可变形微镜，其特征在于，所述镜片的表面固定电阻丝，导线布置在支梁的表面并导通电阻丝和电极。

5.一种热驱动可变形微镜的加工方法，其特征在于，该加工方法基于权利要求1的热驱动可变形微镜，其实现的步骤如下：

步骤一：在SOI基片正面生长一层二氧化硅作为绝缘层，然后溅射一层铝后利用光刻工艺形成反射镜面；

步骤二：在SOI基片正面通过光刻工艺图形化需要形成支梁结构后利用DRIE工艺刻蚀成形；

步骤三：在SOI基片背面通过光刻图形化需要刻蚀的背腔结构后利用DRIE工艺刻蚀背腔至SOI中间二氧化硅层；

步骤四：利用腐蚀液腐蚀暴露出来的二氧化硅层，释放微镜，完成制作。