[发明专利]半导体器件和制造半导体器件的方法在审
| 申请号: | 201911219143.0 | 申请日: | 2019-12-03 | 
| 公开(公告)号: | CN111261696A | 公开(公告)日: | 2020-06-09 | 
| 发明(设计)人: | J.特威南;A.比尔纳;H.布雷赫 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 | 
| 主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/778;H01L21/335 | 
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 陈晓;申屠伟进 | 
| 地址: | 德国瑙伊比*** | 国省代码: | 暂无信息 | 
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| 摘要: | 本发明公开了半导体器件和制造半导体器件的方法。在实施例中,一种半导体器件包括:支撑衬底,所述支撑衬底具有能够支持至少一个III‑V半导体的外延生长的第一表面,以及与第一表面相对的第二表面;被定位在所述第一表面上的至少一个台面,每个台面包括在所述支撑衬底的第一表面上的外延III‑V半导体基的多层结构,所述III‑V半导体基的多层结构与所述第一表面形成一边界;以及被定位成与所述边界横向相邻的寄生沟道抑制区。 | ||
| 搜索关键词: | 半导体器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
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