[发明专利]气密性探测装置及半导体设备控制方法在审
| 申请号： | 201911213664.5 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN111323173A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 郑宇现 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/04 | 分类号： | G01M3/04;G01N21/3504 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提出一种气密性探测装置，用于探测半导体设备的狭缝阀的气密性，狭缝阀隔离半导体设备的两个腔室，狭缝阀根据半导体设备的加工流程选择性地开闭，气密性探测装置包括至少一个光学气体成像件，至少一个光学气体成像件位于腔室之外，至少一个光学气体成像件的探测区域覆盖狭缝阀，且通过一视窗探测狭缝阀，视窗能够透过位于光学气体成像件的探测区域内的特定气体的辐射。本发明降低了装置的安装难度，提升了探测效率。本发明还提供一种半导体设备控制方法。 | ||
| 搜索关键词： | 气密性 探测 装置 半导体设备 控制 方法 | ||
【主权项】：
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