[发明专利]一种集成电路制造用石英热屏板再生方法有效
| 申请号： | 201911200811.5 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN111112212B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 王云鹏;贺贤汉;张正伟;蒋立峰 | 申请（专利权）人： | 上海富乐德智能科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;B08B7/00;B08B11/04;C03C15/00;C09K13/08;C11D7/50 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 赵建敏 |
| 地址： | 200444 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种集成电路制造用石英热屏板再生方法，包括A、有机溶剂浸泡：将待再生石英热屏板放置于温度为30～50℃的有机溶液处理剂中浸泡；B、CO |
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| 搜索关键词： | 一种 集成电路 制造 石英 热屏板 再生 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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