[发明专利]加速度传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201911199373.5 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN110988395B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 王德信;吴海鸿;陶源;王伟 | 申请（专利权）人： | 青岛歌尔智能传感器有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/00 | 分类号： | G01P15/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 266100 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种加速度传感器，所述加速度传感器包括：壳体，围合成容置腔，所述壳体的材质为硅；检测组件，设于所述容置腔内，所述检测组件包括质量块、支撑杆以及耦合件，所述质量块通过所述支撑杆连接于所述容置腔的底壁，所述容置腔的底壁凸设所述耦合件，所述耦合件包绕所述质量块设置，且所述质量块之间设置有的间隙的宽度处处相等；所述支撑杆为弹性件，所述弹性件在外力的作用下形变以使所述质量块在水平方向运动；所述质量块为多边形或圆形，所述质量块的边数大于四个，所述检测组件的材质为硼掺杂硅。本发明还公开一种加速度传感器的制备方法。本发明公开的加速度传感器能够检测360°方位上的加速度，或者可检测多于4个方位上的加速度。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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