[发明专利]一种半导体级单晶硅晶棒定向测试装置有效
| 申请号： | 201911194577.X | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN111059992B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 梁凤丽 | 申请（专利权）人： | 江苏明纳半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/24 | 分类号： | G01B5/24;C30B33/06;C30B29/06;C23C18/34;C22C1/02;C22C1/06;C22C21/08;C22C21/10;C22F1/047;C22F1/053 |
| 代理公司： | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 11588 | 代理人： | 国红 |
| 地址： | 224700 江苏省盐城市建湖*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体级单晶硅晶棒定向测试装置，包括柜体，所述柜体底面靠近四个顶角的位置处设置有移动滚轮，所述柜体前端面靠近顶部的位置处设置有书写板，所述柜体顶面靠近左、右两侧的位置处设置有支撑块，所述支撑块顶面之间靠近顶部的位置处设置有固定横杆，所述固定横杆中间的位置处设置有测量装置；本装置可以更换测量盖板和辅助盖板，来满足不同直径的硅晶棒，同时在测量的过程中只需观察连接板的状态，操作比较简单，同时方便记录，在底部设置有移动滚轮，方便移动，本装置的结构较为简单，成本较为低廉，适合推广使用。所述固定横杆由耐磨铝合金材料按常规工艺制备而成，具有较好的硬度、耐磨性等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 单晶硅 定向 测试 装置 | ||
【主权项】：
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