[发明专利]一种测试光刻胶树脂组分的方法有效
| 申请号： | 201911191617.5 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110927207B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 樊丹;马潇;顾大公;毛智彪;许从应 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司;江苏南大光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20;G01N5/04;G01N24/08;G01N33/44 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北仑区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于光刻胶树脂领域，具体涉及一种测试光刻胶树脂组分的方法，包括如下步骤：S1、将待测试的光刻胶树脂置于溶剂中溶解，通过核磁共振得到氢谱和碳谱；S2、对氢谱、碳谱进行分析，若图谱中各单体峰没有相互重叠，则根据峰面积得到光刻胶树脂中各单体的摩尔比，若图谱中各单体峰相互重叠，则转入S3；S3、对待测测试的光刻胶树脂做热失重分析，计算光刻胶树脂中各单体的摩尔比。本发明的有益效果是：当其他测试手段如HNMR测试，FTIR测试会出现特征峰重叠在一起，无法区分特征峰时，此时，热分析可作为一种精准的分析方法，分析光刻胶树脂组分。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 光刻 树脂 组分 方法 | ||
【主权项】：
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