[发明专利]一种测试光刻胶树脂组分的方法

权利要求书

1.一种测试光刻胶树脂组分的方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、将待测试的光刻胶树脂置于溶剂中溶解，通过核磁共振得到氢谱和碳谱；

S2、对氢谱、碳谱进行分析，若图谱中各单体峰没有相互重叠，则根据峰面积得到光刻胶树脂中各单体的摩尔比，若图谱中各单体峰相互重叠，则转入S3；

S3、对待测测试的光刻胶树脂做热失重分析，通过如下公式 计算光刻胶树脂中各单体的摩尔比，

A％为光刻胶树脂单体A的摩尔百分比，B％为光刻胶树脂单体B的摩尔百分比,Tg₁为光刻胶树脂在热失重过程中第一阶段的失重百分比，Tg₂为光刻胶树脂在热失重过程中第二阶段的失重百分比，T_A1为单体A在热失重过程中第一阶段的失重百分比，M_A为单体A的摩尔质量，M_B为单体B的摩尔质量；

所述光刻胶树脂由含功能基团的甲基丙烯酸酯单体聚合而成，所述甲基丙烯酸酯单体的结构通式如下，

式中，R₁为H或碳原子数在1-20的含碳基团，R₂为含功能性基团的官能团；

所述光刻胶树脂的制备方法如下，

将两种甲基丙烯酸酯类单体A、B以偶氮二异庚腈为引发剂，进行RAFT反应，包括以下步骤：

S1、将四氢呋喃加热至50-80℃，得到经预热的四氢呋喃；

S2、将单体和引发剂溶解在四氢呋喃中，获得原料的四氢呋喃溶液；

S3、将步骤S2获得的原料的四氢呋喃溶液滴加到步骤S1中经预热的四氢呋喃中，50-80℃恒温回流反应10-30小时；

S4、反应完成后冷却至20-30℃，用正己烷沉淀，过滤烘干获得光刻胶树脂。

2.根据权利要求1所述的一种测试光刻胶树脂组分的方法，其特征在于，所述功能性基团为极性单体，刚性单体，酸保护单体，柔性单体中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的一种测试光刻胶树脂组分的方法，其特征在于，所述R2含有的碳原子数在6-30之间；

R2和酯键氧原子相连的碳原子的氢原子全部被其它基团取代，构成叔丁基酯、取代叔丁基酯、烷基取代的金刚烷酯、烷基取代的金刚烷衍生物酯、烷基取代的降冰片酯、烷基取代的降冰片衍生物酯、烷基取代的环状烷基酯、烷基取代的环状烷基衍生物酯中的一种或多种；

或者，R2和酯键氧原子相连构成含1个或多个独立羟基的金刚烷酯、含1个或多个独立羟基的环己酯、含1个或多个独立羟基的环戊酯、含1个或多个独立羟基的多环酯类化合物、含1个或多个独立羟基的笼状酯类化合物、丁内酯、戊内酯、取代戊内酯、己内酯、取代己内酯、含金刚烷结构的内酯、含多环结构的内酯、含笼状结构的内酯中的一种或多种。