[发明专利]光刻设备、确定方法和制造物品的方法有效
| 申请号： | 201911169433.9 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN111258183B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 荒原幸士郎;田中一将 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邹丹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及光刻设备、确定方法和制造物品的方法，提供了一种能够在较短时间段中检测原版的异常保持的光刻设备。该光刻设备被配置为通过使用原版在基板上形成图案，并且该光刻设备包括：被配置为保持其上形成有第一标记的原版的保持单元；被配置为拾取第一标记的图像的测量单元；和控制单元，该控制单元被配置为：在测量单元的焦点位置被调整到基准位置的情况下使得测量单元获得在由保持单元保持的原版上的第一标记的图像；并且在作为第一标记的图像的对比度的第一对比度相对于基准对比度的变化超出可允许范围时，确定原版正在被保持单元异常保持。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 设备 确定 方法 制造 物品 | ||
【主权项】：
暂无信息
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