[发明专利]一种液浮喷盘的设计方法在审
| 申请号： | 201911137577.6 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN110670070A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 黄春生;杨洁;孙彬;沈洪;李晓华 | 申请（专利权）人： | 江苏上达电子有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/02 |
| 代理公司： | 11589 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张铁兰 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液浮喷盘的设计方法，涉及COF产品蚀刻技术领域，包括蚀刻槽，所述蚀刻槽包括蚀刻槽框体、上喷盘、液浮喷盘、蚀刻液喷管与供液管，所述液浮喷盘的边端位置处固定设置有边缘区块，所述边缘区块的上端表面倾斜开设有流通斜孔，所述液浮喷盘的上端表面位置处等距间隔开设有喷流微孔，所述供液管间隔固定设置在液浮喷盘的底端，本发明通过在液浮喷盘的供液管处增加缓冲挡板与固定隔板，能够缓冲供给蚀刻液的压力均匀性，保证了COF产品的平整性，液浮喷盘的边缘区域也会有液体通过流通斜孔喷流，使得整体压力的均匀性得到保证，线路图案蚀刻处理效果更加均匀，进一步提高了COF产品的品质和良率。 | ||
| 搜索关键词： | 喷盘 液浮 供液管 蚀刻槽 边缘区块 上端表面 蚀刻液 位置处 喷流 斜孔 蚀刻 压力均匀性 边缘区域 等距间隔 固定隔板 固定设置 缓冲挡板 间隔固定 蚀刻处理 线路图案 液体通过 整体压力 喷管 均匀性 平整性 边端 底端 缓冲 框体 良率 流通 上喷 微孔 种液 保证 | ||
【主权项】：
1.一种液浮喷盘的设计方法，包括蚀刻槽，所述蚀刻槽包括蚀刻槽框体(1)、上喷盘(2)、液浮喷盘(4)、蚀刻液喷管(7)与供液管(45)，其特征在于，所述液浮喷盘(4)的边端位置处固定设置有边缘区块(42)，所述边缘区块(42)的上端表面倾斜开设有流通斜孔(46)，所述液浮喷盘(4)的上端表面位置处等距间隔开设有喷流微孔(41)，所述供液管(45)间隔固定设置在液浮喷盘(4)的底端，所述液浮喷盘(4)的内部位于供液管(45)的正上方位置处固定设置有缓冲挡板(44)，所述液浮喷盘(4)的内部位于缓冲挡板(44)的正上方固定设置有固定隔板(43)。/n
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