[发明专利]一种液浮喷盘的设计方法

权利要求书

1.一种液浮喷盘的设计方法，包括蚀刻槽，所述蚀刻槽包括蚀刻槽框体(1)、上喷盘(2)、液浮喷盘(4)、蚀刻液喷管(7)与供液管(45)，其特征在于，所述液浮喷盘(4)的边端位置处固定设置有边缘区块(42)，所述边缘区块(42)的上端表面倾斜开设有流通斜孔(46)，所述液浮喷盘(4)的上端表面位置处等距间隔开设有喷流微孔(41)，所述供液管(45)间隔固定设置在液浮喷盘(4)的底端，所述液浮喷盘(4)的内部位于供液管(45)的正上方位置处固定设置有缓冲挡板(44)，所述液浮喷盘(4)的内部位于缓冲挡板(44)的正上方固定设置有固定隔板(43)。

2.根据权利要求1所述的一种液浮喷盘的设计方法，其特征在于，所述流通斜孔(46)与液浮喷盘(4)的内部相连通，所述固定隔板(43)的表面位置处等距间隔开设有隔板通液微孔(431)。

3.根据权利要求1所述的一种液浮喷盘的设计方法，其特征在于，所述液浮喷盘(4)设置在蚀刻槽框体(1)的内部底侧，所述蚀刻槽框体(1)的两端侧面位置处均开设有活动通口。

4.根据权利要求1所述的一种液浮喷盘的设计方法，其特征在于，所述上喷盘(2)固定设置在蚀刻槽框体(1)的内部上端，所述上喷盘(2)的底端位置处等距间隔固定设置有蚀刻液喷管(7)。

5.根据权利要求1所述的一种液浮喷盘的设计方法，其特征在于，所述蚀刻液喷管(7)的底端位置处等距间隔固定设置有喷嘴(3)，所述喷嘴(3)与蚀刻液喷管(7)相连通。

6.根据权利要求1所述的一种液浮喷盘的设计方法，其特征在于，所述边缘区块(42)的表面位置处竖直开设有流通竖直孔(47)，所述边缘区块(42)的内侧位置处水平开设有流通水平孔(48)，所述流通竖直孔(47)与流通水平孔(48)相连通，所述流通水平孔(48)连通于液浮喷盘(4)的内部。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种液浮喷盘的设计方法，其特征在于，包括以下使用步骤：

Sp1：首先将需要蚀刻处理的COF产品(40)通过配用滚轮搬送到达蚀刻槽框体(1)内部；

Sp2：当COF产品(40)通过蚀刻槽时，喷盘整体作摇摆动作，喷嘴(3)将蚀刻液喷淋到COF产品(40)的表面蚀刻铜箔，形成线路图案；

Sp3：在COF产品(40)的背面使用液浮喷盘(4)进行搬送，将蚀刻液通过供液管(45)供给到液浮喷盘(4)中，缓冲挡板(44)能够缓冲蚀刻液的压力；

Sp4：固定隔板(43)上的隔板通液微孔(431)能够进一步的缓冲蚀刻液的压力，最后蚀刻液再从液浮喷盘(4)上的喷流微孔(41)处喷流出来，产生浮力用来搬送产品，保证了COF产品(40)的非接触式的生产；

Sp5：液浮喷盘(4)的边缘区域也会有液体通过流通斜孔(46)喷流，使得整体压力的均匀性得到保证，使其不会形成压力不均的现象。